[发明专利]位移测量装置、测量系统及位移测量方法

权利要求书

1.一种位移测量装置，其特征在于，包括：

投光部，产生光；

传感器头，对测量对象物照射所述光，且接收所照射的所述光中在所述测量对象物的测量对象面反射的光；以及

控制部，基于所述传感器头所接收的光，算出表示与所述测量对象面之间的距离的值，且

所述控制部是以算出的所述值包含在预先设定的数值范围内为条件，将所算出的所述值作为表示到所述测量对象面的距离的值进行处理，且基于所算出的所述值，重新设定所述预先设定的数值范围至新的数值范围，所述新的数值范围的宽度与所述预先设定的数值范围的宽度相同，且所算出的所述值成为所述新的数值范围的中间值，

其中

所述测量对象物在基材上具有能够使所述光透射的第一层，

所述传感器头接收所照射的所述光中在所述基材的测量对象面和所述第一层的测量对象面的各面反射的光，

所述控制部基于所述传感器头所接收的光，算出表示与各所述测量对象面之间的距离的值，且将算出的多个所述值中的第一值作为表示到所述第一层的测量对象面的距离的值进行处理，所述第一值包含在作为所述预先设定的数值范围的第一数值范围内。

2.根据权利要求1所述的位移测量装置，其特征在于，

所述控制部将算出的多个所述值中的第二值作为表示到所述基材的测量对象面的距离的值进行处理，所述第二值包含在不与所述第一数值范围重复且作为所述预先设定的数值范围的第二数值范围内。

3.根据权利要求1所述的位移测量装置，其特征在于，

所述测量对象物具有积层在所述第一层的第二层，

所述传感器头还接收所照射的所述光中在所述第二层的测量对象面反射的光，

所述控制部是将算出的多个所述值中的第二值作为表示到所述第二层的测量对象面的距离的值进行处理，所述第二值包含在不与所述第一数值范围重复且作为所述预先设定的数值范围的第二数值范围内。

4.根据权利要求1所述的位移测量装置，其特征在于，

所述传感器头与所述测量对象物的相对位置根据所述传感器头或所述测量对象物的移动而发生变化，

所述控制部基于所述相对位置发生变化后由所述传感器头接收的光，再次算出表示与所述测量对象面之间的距离的值，且将再次算出的所述值中包含在重新设定后的所述数值范围内的值，作为所述相对位置发生变化后的位置上的到所述测量对象面的距离进行处理。

5.根据权利要求2或3所述的位移测量装置，其特征在于，

所述传感器头与所述测量对象物的相对位置根据所述传感器头或所述测量对象物的移动而发生变化，

所述控制部基于所述相对位置发生变化后由所述传感器头接收的光，再次算出表示与各所述测量对象面之间的距离的值，且将再次算出的多个所述值中包含在重新设定后的所述第一数值范围内的第三值，作为所述相对位置发生变化后的位置上的到所述第一层的测量对象面的距离进行处理。

6.根据权利要求4所述的位移测量装置，其特征在于，

所述位移测量装置是通过使所述传感器头沿垂直于光轴的方向移动，而使所述相对位置变化。

7.根据权利要求5所述的位移测量装置，其特征在于，

所述控制部在重新设定后的所述第一数值范围内包含所述第三值和第四值时，以所述第三值及所述第四值中接近所述第一值的值成为再次重新设定后的所述第一数值范围的中间值的方式，进一步变更重新设定后的所述第一数值范围。

8.根据权利要求5所述的位移测量装置，其特征在于，

所述控制部基于包含在所述第二数值范围内的所述第二值，重新设定所述第二数值范围，且当再次算出的多个所述值不含在重新设定后的所述第一数值范围内时，基于所述第一值、所述第二值和包含在重新设定后的所述第二数值范围内的第五值，再次重新设定所述第一数值范围。