[发明专利]立式晶舟

权利要求书

1.一种立式晶舟，其特征在于，

所述立式晶舟具有：

顶板；

底板；

3根支柱，所述支柱的一端被固定在所述顶板，另一端被固定在底板；以及

晶圆支承部，

所述支柱由被配置在晶圆插入始端侧的左右两侧的第1和第2支柱以及被配置在晶圆插入终端侧的中央的第3支柱构成，

所述晶圆支承部包括从所述第1、第2和第3支柱的侧面分别向水平方向突出的第1、第2和第3晶圆支承部，

所述第1、第2和第3晶圆支承部具有相同的厚度，并且包括所述第1支柱的所述第1晶圆支承部的水平方向的截面形状或者包括所述第2支柱的所述第2晶圆支承部的水平方向的截面形状与包括所述第3支柱的所述第3晶圆支承部的水平方向的截面形状不同，

在将所述第1晶圆支承部与第1支柱的水平方向的合计截面积以及所述第2晶圆支承部与第2支柱的水平方向的合计截面积表示为Sa，将所述第3晶圆支承部与第3支柱的水平方向的合计截面积表示为Sb时，由以下式定义的比率的绝对值为1％以下，

比率(％)＝100×(Sa-Sb)/(Sa+Sb) 。

2.根据权利要求1所述的立式晶舟，其特征在于，

所述第1晶圆支承部和第1支柱的水平截面形成为“へ”字状，

所述第2晶圆支承部和第2支柱的水平截面形成为“へ”字状，

所述第3晶圆支承部和第3支柱的水平截面以从第3晶圆支承部的前端朝向第3支柱侧变宽的方式形成为锥状。

3.根据权利要求1或2所述的立式晶舟，其特征在于，

所述第1、第2和第3晶圆支承部的前端部配置在距离所支承的晶圆的中心为晶圆的半径的65％以上75％以下的位置。