[发明专利]感光性树脂组合物及感光性树脂层叠体有效

专利信息
申请号: 201810155490.0 申请日: 2018-02-23
公开(公告)号: CN108469717B 公开(公告)日: 2021-08-20
发明(设计)人: 松田隆之;西本秀昭;藤原晶 申请(专利权)人: 旭化成株式会社
主分类号: G03F7/004 分类号: G03F7/004;G03F7/027;H05K3/28
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人: 刘新宇;李茂家
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 感光性 树脂 组合 层叠
【权利要求书】:

1.一种感光性树脂组合物,其特征在于,包含:

(A)碱溶性高分子;

(B)具有烯属不饱和键的化合物;

(C)光聚合引发剂;和

(D)抑制剂;

相对于所述感光性树脂组合物中的全部固体成分质量,所述(A)碱溶性高分子含有5质量%以上的I/O值为0.200~0.560的(A-1)碱溶性高分子,且

所述(D)抑制剂含有苯酚衍生物,

将所述感光性树脂组合物的固体成分中所含的所述(A)碱溶性高分子和所述(B)具有烯属不饱和键的化合物以外的物质作为除(A)和(B)以外的成分时,

所述除(A)和(B)以外的成分的质量与所述(B)具有烯属不饱和键的化合物的质量的比为0.190以下。

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,所述(A-1)碱溶性高分子的质量与所述(B)具有烯属不饱和键的化合物的质量的比为0.500以上。

3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物,基于构成该(A-1)碱溶性高分子的全部单体成分的总重量,所述(A-1)碱溶性高分子含有21质量%~29质量%的衍生自(甲基)丙烯酸的结构单元。

4.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物,所述(A-1)碱溶性高分子的玻璃化转变温度Tg为128℃以下。

5.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物,所述(A)碱溶性高分子的质量与所述(B)具有烯属不饱和键的化合物的质量的比为5.0以下。

6.一种感光性树脂组合物,其特征在于,包含:

(A)碱溶性高分子;

(B)具有烯属不饱和键的化合物;和

(C)光聚合引发剂;

(D)抑制剂;

基于所述感光性树脂组合物中的全部固体成分质量,所述(A)碱溶性高分子含有5质量%以上的I/O值为0.200~0.560的(A-1)碱溶性高分子,

基于构成该(A-1)碱溶性高分子的全部单体成分的总重量,所述(A-1)碱溶性高分子含有21质量%~29质量%的衍生自(甲基)丙烯酸的结构单元,

所述(A-1)碱溶性高分子的玻璃化转变温度Tg为128℃以下,

所述(D)抑制剂含有苯酚衍生物,

将所述感光性树脂组合物的固体成分中所含的所述(A)碱溶性高分子和所述(B)具有烯属不饱和键的化合物以外的物质作为除(A)和(B)以外的成分时,

所述除(A)和(B)以外的成分的质量与所述(B)具有烯属不饱和键的化合物的质量的比为0.190以下,

所述(A-1)碱溶性高分子的质量与所述(B)具有烯属不饱和键的化合物的质量的比为0.500以上,

所述(A)碱溶性高分子的质量与所述(B)具有烯属不饱和键的化合物的质量的比为5.0以下。

7.根据权利要求1或6所述的感光性树脂组合物,所述(C)光聚合引发剂包含六芳基联咪唑。

8.根据权利要求1或6所述的感光性树脂组合物,所述(C)光聚合引发剂包含吡唑啉化合物。

9.根据权利要求1或6所述的感光性树脂组合物,所述(C)光聚合引发剂包含蒽化合物。

10.根据权利要求1或6所述的感光性树脂组合物,所述(C)光聚合引发剂包含芳香族酮类。

11.根据权利要求1或6所述的感光性树脂组合物,所述(C)光聚合引发剂包含选自吖啶类、N-芳基氨基酸或其酯化合物、卤素化合物、香豆素化合物中的至少一个。

12.根据权利要求1或6所述的感光性树脂组合物,还含有隐色染料。

13.根据权利要求12所述的感光性树脂组合物,相对于所述感光性树脂组合物的全部固体成分质量,所述隐色染料的含量为0.05质量%~10质量%。

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