[发明专利]波长可变干涉滤波器及光学模块

权利要求书

1.一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，包括：

第一基板，设置有第一反射膜；以及

第二基板，所述第二基板具备可动部和保持部，与所述第一反射膜相对的第二反射膜设置于所述可动部，所述保持部包围所述可动部的外周，并保持所述可动部，

所述可动部在俯视观察时具有长边和短边，

所述保持部包括沿所述长边设置的长边侧保持部和沿所述短边设置的短边侧保持部，

所述短边侧保持部的刚度低于所述长边侧保持部的刚度，

所述保持部还包括角保持部，在所述俯视观察时，所述角保持部配置于所述长边侧保持部与所述短边侧保持部之间，

所述角保持部的刚度低于所述长边侧保持部及所述短边侧保持部的刚度，

所述保持部还包括从所述角保持部的外周缘的局部突出的突出保持部。

2.根据权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，

所述长边侧保持部在沿所述长边的方向上随着与通过所述可动部的中心的所述长边的垂线的距离变长而刚度变低。

3.根据权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，

所述长边侧保持部在沿所述可动部的长轴的方向上随着与通过所述可动部的中心的所述长轴的垂线的距离变长而刚度变低。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，

所述短边侧保持部在沿所述短边的方向上随着与通过所述可动部的中心的所述短边的垂线的距离变长而刚度变低。

5.根据权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，

所述短边侧保持部在沿所述可动部的短轴的方向上随着与通过所述可动部的中心的所述短轴的垂线的距离变长而刚度变低。

6.根据权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，

在所述俯视观察时，所述角保持部配置于由沿所述长边的一对线和沿所述短边的一对线包围的区域，所述沿所述长边的一对线分别与所述长边侧保持部的在所述可动部一侧的外周缘和所述长边侧保持部的与所述可动部相反一侧的外周缘相接，所述沿所述短边的一对线分别与所述短边侧保持部的在所述可动部一侧的外周缘和所述短边侧保持部的与所述可动部相反一侧的外周缘相接。

7.根据权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，

所述短边侧保持部的厚度小于所述长边侧保持部的厚度。

8.根据权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，

所述短边侧保持部在沿所述长边的方向上的长度大于所述长边侧保持部在沿所述短边的方向上的长度。

9.根据权利要求1所述的波长可变干涉滤波器，其特征在于，

在所述保持部中形成有多个孔，

所述短边侧保持部中每单位面积的所述孔的开口面积大于所述长边侧保持部中每单位面积的所述孔的开口面积。

10.一种波长可变干涉滤波器，其特征在于，具备：

第一基板，设置有第一反射膜；以及

第二基板，所述第二基板具备可动部和保持部，与所述第一反射膜相对的第二反射膜设置于所述可动部，所述保持部包围所述可动部的外周，并保持所述可动部，

所述可动部在俯视观察时具有沿第一方向的第一边以及沿与所述第一方向交叉的第二方向的第二边，

所述保持部包括：

第一保持部，沿所述第一边而设置；

第二保持部，沿所述第二边而设置；

角保持部，在所述俯视观察时，由沿所述第一方向的一对线和沿所述第二方向的一对线包围，所述沿所述第一方向的一对线分别与所述第一保持部的在所述可动部一侧的外周缘和所述第一保持部的与所述可动部相反一侧的外周缘相接，所述沿所述第二方向的一对线分别与所述第二保持部的在所述可动部一侧的外周缘和所述第二保持部的与所述可动部相反一侧的外周缘相接；以及

突出保持部，从所述角保持部的外周缘的局部突出。