[发明专利]波长可变干涉滤波器及光学模块

说明书

本发明涉及波长可变干涉滤波器及光学模块。波长可变干涉滤波器的特征在于，包括：第一基板，设置有第一反射膜；以及第二基板，具备可动部和保持部，与所述第一反射膜相对的第二反射膜设置于可动部，保持部包围所述可动部的外周，并将所述可动部保持为能够在所述第二反射膜的厚度方向上位移，所述可动部在俯视观察时具有长边及短边，所述保持部包括沿所述长边设置的长边侧保持部和沿所述短边设置的短边侧保持部，所述短边侧保持部的刚度低于所述长边侧保持部的刚度。

技术领域

本发明涉及波长可变干涉滤波器及光学模块。

背景技术

目前，已知具有一对反射膜的波长可变干涉滤波器(例如，参照专利文献1)。

在这种波长可变干涉滤波器中，在设置一方的反射膜的基板上设置有：可动部，设置有反射膜；以及保持部，包围可动部的外周，并以使可动部能够位移的方式保持可动部。此外，通过可动部进行位移，一对反射膜间的间隙量变化，由此，透过的光的波长变化。

专利文献1：日本特开2010-139552号公报

但是，波长可变干涉滤波器例如与接收透过波长可变干涉滤波器的光的受光传感器等组合使用。因此，在受光传感器的受光面是长方形或正方形的情况下，与此相应，有时也要使反射膜及可动部的平面形状为长方形、正方形。但是，在可动部是长方形、正方形的情况下，存在如下问题。

为了不使反射膜挠曲，有必要使可动部在不挠曲的情况下进行位移。

但是，对平板施加厚度方向的力时的挠曲形状在从该厚度方向观察的俯视观察时，与中心部分的距离越长的位置位移量越小，因此，如果将位移量的差的大小作为挠曲量的大小，则在可动部是长方形状、且保持部的刚度均匀的情况下，可动部的长边方向的挠曲量大于短边方向的挠曲量。因此，在反射膜的面内间隙量变得不均匀。

此外，在可动部是长方形、正方形的情况下，保持部中与可动部的角部相接的部分比其它部分更难挠曲。因此，在可动部进行位移时，可动部的角部被保持部拉拽，存在可动部容易挠曲的问题。

进而，在如上所述地可动部发生挠曲时，反射膜也挠曲，从波长可变干涉滤波器输出的光的波长在反射膜的面内出现偏差，存在波长可变干涉滤波器的精度下降的问题。

发明内容

本发明的目的在于，提供能够抑制因可动部挠曲而导致波长可变干涉滤波器的精度下降的波长可变干涉滤波器及光学模块。

本发明的一应用例所涉及的波长可变干涉滤波器，其特征在于，包括：第一基板，设置有第一反射膜；以及第二基板，具备可动部和保持部，与所述第一反射膜相对的第二反射膜设置于所述可动部，所述保持部包围所述可动部的外周，并保持所述可动部，所述可动部在俯视观察时具有长边和短边，所述保持部包括沿所述长边设置的长边侧保持部和沿所述短边设置的短边侧保持部，所述短边侧保持部的刚度低于所述长边侧保持部的刚度。

在本应用例中，短边侧保持部的刚度低于长边侧保持部的刚度。根据该结构，相比短边侧保持部的刚度与长边侧保持部的刚度相同的情况，在可动部进行位移时，短边侧保持部容易挠曲，短边侧保持部拉拽可动部的力变弱。因此，能够减轻可动部的长边方向的挠曲。因此，设于可动部的第二反射膜的挠曲也被抑制，能够抑制输出波长在面内出现偏差，能够使波长可变干涉滤波器变得高精度。

在本应用例所涉及的波长可变干涉滤波器中，优选地，所述长边侧保持部构成为，在沿所述长边的方向上随着与所述可动部的中心的距离变长而刚度变低。所述长边侧保持部其特征在于，在沿所述长边的方向上随着与通过所述可动部的中心的所述长边的垂线的距离变长而刚度变低。