[发明专利]一种固体颗粒材料的镀膜方法在审
| 申请号： | 201810159063.X | 申请日： | 2018-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN108315693A | 公开（公告）日： | 2018-07-24 |
| 发明（设计）人： | 王德苗;顾骏;秦正春;金浩;冯斌 | 申请（专利权）人： | 苏州求是真空电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 镀膜 搅拌机 预处理 固体颗粒材料 镀膜装置 单层 镀覆 放入 膜层 室内 重复 | ||
【权利要求书】：
1.一种固体颗粒材料的镀膜方法，其特征在于：包括以下步骤，
1)在传统镀膜装置的真空室内设置搅拌机；
2)预处理需要镀膜的固体颗粒；
3)将预处理后的固体颗粒放入搅拌机；
4)给固体颗粒进行单层镀膜，同时开启搅拌机搅拌固体颗粒；
5)重复步骤4，直至完成所有膜层的镀覆。
2.根据权利要求1所述的一种固体颗粒材料的镀膜方法，其特征在于：固体颗粒预处理过程为，清洗待镀膜的固体颗粒，然后脱水，最后甩干/风干。
3.根据权利要求3所述的一种固体颗粒材料的镀膜方法，其特征在于：用酒精脱水，用甩干装置甩干/用风干装置风干。
4.根据权利要求1所述的一种固体颗粒材料的镀膜方法，其特征在于：单层镀膜的周期内，搅拌机搅拌转动不低于100转。
5.根据权利要求1所述的一种固体颗粒材料的镀膜方法，其特征在于：搅拌机顶部开口，开口正对真空室顶部设置的靶。
6.根据权利要求1所述的一种固体颗粒材料的镀膜方法，其特征在于：靶溅射时长根据所镀物质而定。
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