[发明专利]一种固体颗粒材料的镀膜方法在审

专利信息
申请号: 201810159063.X 申请日: 2018-02-26
公开(公告)号: CN108315693A 公开(公告)日: 2018-07-24
发明(设计)人: 王德苗;顾骏;秦正春;金浩;冯斌 申请(专利权)人: 苏州求是真空电子有限公司
主分类号: C23C14/22 分类号: C23C14/22
代理公司: 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 代理人: 董建林
地址: 215300 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 镀膜 搅拌机 预处理 固体颗粒材料 镀膜装置 单层 镀覆 放入 膜层 室内 重复
【说明书】:

发明公开了一种固体颗粒材料的镀膜方法,包括1)在传统镀膜装置的真空室内设置搅拌机;2)预处理需要镀膜的固体颗粒;3)将预处理后的固体颗粒放入搅拌机;4)给固体颗粒进行单层镀膜,同时开启搅拌机搅拌固体颗粒;5)重复步骤4,直至完成所有膜层的镀覆。本发明工艺简单,稳定易控制,可以实现固体颗粒各个面的同一时间的较为均匀的镀膜。

技术领域

本发明涉及一种固体颗粒材料的镀膜方法,属于材料表面改性技术领域。

背景技术

现在常用的镀膜方法包括溅射镀膜和离子镀膜,这两个工艺均不能同时实现材料的所有表面的同时镀膜,且同一产品的各个面分开镀膜时具有均匀性很难控制的缺点。

发明内容

为了解决上述技术问题,本发明提供了一种固体颗粒材料的镀膜方法。

为了达到上述目的,本发明所采用的技术方案是:

一种固体颗粒材料的镀膜方法,包括以下步骤,

1)在传统镀膜装置的真空室内设置搅拌机;

2)预处理需要镀膜的固体颗粒;

3)将预处理后的固体颗粒放入搅拌机;

4)给固体颗粒进行单层镀膜,同时开启搅拌机搅拌固体颗粒;

5)重复步骤4,直至完成所有膜层的镀覆。

固体颗粒预处理过程为,清洗待镀膜的固体颗粒,然后脱水,最后甩干/风干。

用酒精脱水,用甩干装置甩干/用风干装置风干。

单层镀膜的周期内,搅拌机搅拌转动不低于100转。

搅拌机顶部开口,开口正对真空室顶部设置的靶。

靶溅射时长根据所镀物质而定

本发明所达到的有益效果:本发明工艺简单,稳定易控制,可以实现固体颗粒各个面的同一时间的较为均匀的镀膜。

附图说明

图1为本发明的流程图;

图2为镀膜装置的结果示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案,而不能以此来限制本发明的保护范围。

如图1所示,一种固体颗粒材料的镀膜方法,包括以下步骤:

1)如图2所示,在传统镀膜装置的真空室1内固定搅拌机2,搅拌机2顶部开口,开口正对真空室1顶部设置的靶3。

2)预处理需要镀膜的固体颗粒:先清洗待镀膜的固体颗粒,然后用酒精脱水,用甩干装置甩干/用风干装置风干。

3)将预处理后的固体颗粒放入搅拌机2。

4)开始抽真空,待达到镀膜条件后开始镀膜,采用溅射/离子镀方法给固体颗粒进行单层镀膜,同时开启搅拌机2搅拌固体颗粒。单层镀膜的周期内,搅拌机2搅拌转动不低于100转,靶溅射时长根据所镀物质而定。

5)重复步骤4,直至完成所有膜层的镀覆。

为了进一步说明上述方法,举以下实例。

(1)将直径为1mm的玻璃球放入超声波清洗机中,用去离子水超声清洗30分钟;

(2)将清洗完的玻璃球放入漏网搅拌沥干2分钟,随后放入装有酒精的超声清洗机中超声脱水10分钟;

(3)将酒精脱水后的玻璃球放入离心甩干机中甩干;

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