[发明专利]一种固体颗粒材料的镀膜方法在审
申请号: | 201810159063.X | 申请日: | 2018-02-26 |
公开(公告)号: | CN108315693A | 公开(公告)日: | 2018-07-24 |
发明(设计)人: | 王德苗;顾骏;秦正春;金浩;冯斌 | 申请(专利权)人: | 苏州求是真空电子有限公司 |
主分类号: | C23C14/22 | 分类号: | C23C14/22 |
代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 董建林 |
地址: | 215300 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 镀膜 搅拌机 预处理 固体颗粒材料 镀膜装置 单层 镀覆 放入 膜层 室内 重复 | ||
本发明公开了一种固体颗粒材料的镀膜方法,包括1)在传统镀膜装置的真空室内设置搅拌机;2)预处理需要镀膜的固体颗粒;3)将预处理后的固体颗粒放入搅拌机;4)给固体颗粒进行单层镀膜,同时开启搅拌机搅拌固体颗粒;5)重复步骤4,直至完成所有膜层的镀覆。本发明工艺简单,稳定易控制,可以实现固体颗粒各个面的同一时间的较为均匀的镀膜。
技术领域
本发明涉及一种固体颗粒材料的镀膜方法,属于材料表面改性技术领域。
背景技术
现在常用的镀膜方法包括溅射镀膜和离子镀膜,这两个工艺均不能同时实现材料的所有表面的同时镀膜,且同一产品的各个面分开镀膜时具有均匀性很难控制的缺点。
发明内容
为了解决上述技术问题,本发明提供了一种固体颗粒材料的镀膜方法。
为了达到上述目的,本发明所采用的技术方案是:
一种固体颗粒材料的镀膜方法,包括以下步骤,
1)在传统镀膜装置的真空室内设置搅拌机;
2)预处理需要镀膜的固体颗粒;
3)将预处理后的固体颗粒放入搅拌机;
4)给固体颗粒进行单层镀膜,同时开启搅拌机搅拌固体颗粒;
5)重复步骤4,直至完成所有膜层的镀覆。
固体颗粒预处理过程为,清洗待镀膜的固体颗粒,然后脱水,最后甩干/风干。
用酒精脱水,用甩干装置甩干/用风干装置风干。
单层镀膜的周期内,搅拌机搅拌转动不低于100转。
搅拌机顶部开口,开口正对真空室顶部设置的靶。
靶溅射时长根据所镀物质而定
本发明所达到的有益效果:本发明工艺简单,稳定易控制,可以实现固体颗粒各个面的同一时间的较为均匀的镀膜。
附图说明
图1为本发明的流程图;
图2为镀膜装置的结果示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案,而不能以此来限制本发明的保护范围。
如图1所示,一种固体颗粒材料的镀膜方法,包括以下步骤:
1)如图2所示,在传统镀膜装置的真空室1内固定搅拌机2,搅拌机2顶部开口,开口正对真空室1顶部设置的靶3。
2)预处理需要镀膜的固体颗粒:先清洗待镀膜的固体颗粒,然后用酒精脱水,用甩干装置甩干/用风干装置风干。
3)将预处理后的固体颗粒放入搅拌机2。
4)开始抽真空,待达到镀膜条件后开始镀膜,采用溅射/离子镀方法给固体颗粒进行单层镀膜,同时开启搅拌机2搅拌固体颗粒。单层镀膜的周期内,搅拌机2搅拌转动不低于100转,靶溅射时长根据所镀物质而定。
5)重复步骤4,直至完成所有膜层的镀覆。
为了进一步说明上述方法,举以下实例。
(1)将直径为1mm的玻璃球放入超声波清洗机中,用去离子水超声清洗30分钟;
(2)将清洗完的玻璃球放入漏网搅拌沥干2分钟,随后放入装有酒精的超声清洗机中超声脱水10分钟;
(3)将酒精脱水后的玻璃球放入离心甩干机中甩干;
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