[发明专利]探针组件及其探针结构

权利要求书

1.一种探针结构，其特征在于，所述探针结构包括：

一第一基部，所述第一基部包括一第一接触段以及一连接于所述第一接触段的第一连接段，其中，所述第一接触段具有一第一抵靠部以及一连接于所述第一抵靠部的第一侧端；

一第二基部，所述第二基部包括一第二接触段、一第二连接段以及一电性连接于所述第二接触段与所述第二连接段之间的被动元件，其中，所述第二接触段具有一第二抵靠部以及一连接于所述第二抵靠部的第二侧端；

一连接部，所述第一基部的所述第一连接段以及所述第二基部的所述第二连接段连接于所述连接部；以及

一接触部，所述接触部连接于所述连接部；

其中，所述第一连接段的横截面垂直于所述第一连接段的延伸方向，所述第二连接段的横截面垂直于所述第二连接段的延伸方向，所述连接部的横截面垂直于所述连接部的延伸方向，其中，所述第一连接段的所述横截面的形状与所述连接部的所述横截面的形状彼此相异，且所述第二连接段的所述横截面的形状与所述连接部的所述横截面的形状彼此相异；

其中，所述第一连接段相对于所述连接部形成一第一裸露表面，所述第一连接段与所述连接部间的连接处为具有所述第一裸露表面的一转折处；所述第二连接段相对于所述连接部形成一第二裸露表面，所述第二连接段与所述连接部间的连接处为具有所第二裸露表面的一转折处；

其中，所述第一连接段的所述横截面的面积大于所述连接部的所述横截面的面积，且所述第二连接段的所述横截面的面积大于所述连接部的所述横截面的面积。

2.根据权利要求1所述的探针结构，其特征在于，所述探针结构为一悬臂式探针结构。

3.根据权利要求1所述的探针结构，其特征在于，所述第一接触段的延伸方向与所述连接部的延伸方向彼此相异，且所述第二接触段的延伸方向与所述连接部的延伸方向彼此相异。

4.根据权利要求1所述的探针结构，其特征在于，所述第一抵靠部及所述第二抵靠部能分别抵接于一第一板体的一顶抵部。

5.根据权利要求1所述的探针结构，其特征在于，所述第一连接段及所述第二连接段分别为一柱状结构，所述连接部为一片状结构，且所述柱状结构与所述片状结构的形状不同。

6.根据权利要求1所述的探针结构，其特征在于，所述第一接触段、所述第一连接段、所述第二接触段及所述第二连接段朝向一第一方向延伸，所述连接部朝向一第二方向延伸，且所述第一方向与所述第二方向彼此相异。

7.根据权利要求1所述的探针结构，其特征在于，所述被动元件为一电容。

8.一种探针组件，其特征在于，所述探针组件包括：

一衬底，所述衬底具有多个导电结构；

一第一板体，所述第一板体具有多个第一贯孔以及多个顶抵部，每一个所述顶抵部邻近于相对应的所述第一贯孔，每一个所述第一贯孔具有一第一孔径；以及

一探针结构，所述探针结构包括一第一基部、一第二基部、一连接部以及一接触部，其中所述第一基部包括一第一接触段以及一连接于所述第一接触段的第一连接段，所述第一接触段具有一第一抵靠部以及一连接于所述第一抵靠部的第一侧端，其中，所述第二基部包括一第二接触段、一第二连接段以及一电性连接于所述第二接触段与所述第二连接段之间的被动元件，所述第二接触段具有一第二抵靠部以及一连接于所述第二抵靠部的第二侧端，其中，所述第一基部的所述第一连接段以及所述第二基部的所述第二连接段连接于所述连接部，其中，所述接触部连接于所述连接部；

其中，所述第一接触段的一最大外径小于所述第一贯孔的所述第一孔径，且所述第二接触段的一最大外径小于所述第一贯孔的所述第一孔径，以使所述第一接触段及所述第二接触段能通过所述第一贯孔；

其中，所述第一接触段电性连接于多个所述导电结构中的其中一个，且所述第二接触段电性连接于多个所述导电结构中的另外一个；

其中，所述第一抵靠部及所述第二抵靠部分别抵接于相对应的两个所述顶抵部。