[发明专利]探针组件及其探针结构

说明书

本发明公开一种探针组件及其探针结构。探针结构包括一第一基部、一第二基部、一连接部以及一接触部。第一基部包括一第一接触段以及一连接于第一接触段的第一连接段。第一接触段具有一第一抵靠部以及一连接于第一抵靠部的第一侧端。第二基部包括一第二接触段、一第二连接段以及一电性连接于第二接触段与第二连接段之间的被动元件。第二接触段具有一第二抵靠部以及一连接于第二抵靠部的第二侧端。第一基部的第一连接段以及第二基部的第二连接段连接于连接部。接触部连接于连接部。借此，本发明能通过被动元件的设置，而改善电源完整性。

技术领域

本发明涉及一种探针组件及其探针结构，尤其涉及一种应用于晶圆探针卡的探针组件及其探针结构。

背景技术

首先，现有技术的悬臂式探针卡主要是通过人工的方式将探针逐一焊接在印刷电路板上，同时，通过一粘着物(例如环氧树脂)将探针固定。例如，TW I447397所公开的“探针卡”专利案，其探针33即是利用包含有环氧树脂的固持部36而固定在电路板34上。

但是，上述现有技术中，当环氧树脂硬化后，会使得悬臂式探针卡变得不易维修。换句话说，当其中一根探针损坏时，现有技术的悬臂式探针卡并无法单独替换该损坏的探针，必须将整组悬臂式探针卡进行更换。

再者，现有技术的悬臂式探针卡的焊线方式，须要通过密集的线材以进行扇出(Fan-out)工艺，且因人工焊线须要较宽广的空间，所以传输路径较长。因此，会导致信号传输品质较差。进一步地，现有技术的悬臂式探针卡的探针线径较宽，故在布线上除了横向排列之外，仍必须进行纵向堆叠。但是，当针数多或间距小时，将导致探针安排的困难度增加。

进一步来说，现有的悬臂式探针卡结构，传输路径太长，阻抗无法控制，传输品质较不佳。同时，电源信号会因为传输路径过长，且探针截面积过窄，其电感特性将使电源阻抗随频率上升，造成电压下降而使得测试良率不佳。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于，针对现有技术的不足提供一种探针组件及其探针结构，能有效地改善悬臂式探针不易维修的特性，同时，能改善传输品质并降低维护成本。同时，能降低探针结构的传输路径中电感的影响。

为了解决上述的技术问题，本发明所采用的其中一技术方案是，提供一种探针结构，其包括一第一基部、一第二基部、一连接部以及一接触部。所述第一基部包括一第一接触段以及一连接于所述第一接触段的第一连接段，其中，所述第一接触段具有一第一抵靠部以及一连接于所述第一抵靠部的第一侧端。所述第二基部包括一第二接触段、一第二连接段以及一电性连接于所述第二接触段与所述第二连接段之间的被动元件，其中，所述第二接触段具有一第二抵靠部以及一连接于所述第二抵靠部的第二侧端。所述第一基部的所述第一连接段以及所述第二基部的所述第二连接段连接于所述连接部。所述接触部连接于所述连接部。

更进一步地，所述第一连接段的横截面垂直于所述第一连接段的延伸方向，所述第二连接段的横截面垂直于所述第二连接段的延伸方向，所述连接部的横截面垂直于所述连接部的延伸方向，其中，所述第一连接段的所述横截面的形状与所述连接部的所述横截面的形状彼此相异，且所述第二连接段的所述横截面的形状与所述连接部的所述横截面的形状彼此相异。

更进一步地，所述第一连接段的所述横截面的面积大于所述连接部的所述横截面的面积，且所述第二连接段的所述横截面的面积大于所述连接部的所述横截面的面积。

更进一步地，所述探针结构为一悬臂式探针结构。

更进一步地，所述第一接触段的延伸方向与所述连接部的延伸方向彼此相异，且所述第二接触段的延伸方向与所述连接部的延伸方向彼此相异。

更进一步地，所述第一抵靠部及所述第二抵靠部能分别抵接于一第一板体的一顶抵部。

更进一步地，所述第一连接段及所述第二连接段分别为一柱状结构，所述连接部为一片状结构，且所述柱状结构与所述片状结构的形状不同。