[发明专利]一种单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备及方法

权利要求书

1.一种单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备，其特征在于：包括除尘器筒体(1)、进气口(2)、清灰口(3)、过滤装置(4)、过滤布袋(5)、过滤布袋下安装盘(6)、过滤布袋上安装盘(7)、布袋安装口(10)、出气口(11)、除尘器上盖(12)、泄压阀(15)和电磁阀(14)；

所述除尘器上盖(12)连接于所述除尘器筒体(1)顶部，所述电磁阀(14)和所述泄压阀(15)分别设置于所述除尘器上盖(12)两侧的所述除尘器筒体(1)顶部，所述泄压阀(15)下端与所述除尘器筒体(1)内部相连通；

所述过滤布袋上安装盘(7)固定于所述除尘器筒体(1)上部内侧壁上，所述过滤布袋下安装盘(6)连接于所述过滤布袋上安装盘(7)下侧，所述过滤布袋(5)固定于所述过滤布袋下安装盘(6)上；

所述出气口(11)连接于所述除尘器筒体(1)上部，所述布袋安装口(10)连接于所述除尘器筒体(1)中部两侧；

所述进气口(2)和所述清灰口(3)分别连接于所述除尘器筒体(1)底部两侧，所述过滤装置(4)固定于所述除尘器筒体(1)底部内，所述过滤装置(4)两端分别与所述进气口(2)和所述清灰口(3)相连接。

2.根据权利要求1所述的单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备，其特征在于：还包括连接推杆(9)，所述连接推杆(9)的上端与所述过滤布袋上安装盘(7)固定连接，所述连接推杆(9)的下端与所述过滤布袋下安装盘(6)固定连接。

3.根据权利要求1所述的单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备，其特征在于：还包括除尘器底座(13),所述除尘器底座(13)固定于所述过滤装置(4)上侧的所述除尘器筒体(1)上。

4.根据权利要求3所述的单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备，其特征在于：所述除尘器底座(13)上设置多个圆孔，所述过滤布袋(5)为多个，各个圆孔与各个所述过滤布袋(5)的下端位置相对应。

5.根据权利要求1所述的单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备，其特征在于：所述进气口(2)、所述清灰口(3)、所述布袋安装口(10)、所述出气口(11)、所述除尘器上盖(12)、所述泄压阀(15)分别通过O型密封圈与所述除尘器筒体(1)密封连接。

6.根据权利要求1所述的单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备，其特征在于：还包括铰接连接于所述布袋安装口(10)上的布袋封盖，布袋封盖密封盖合于所述布袋安装口(10)上。

7.根据权利要求1所述的单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备，其特征在于：还包括铰接连接于所述清灰口(3)上的清灰封盖，清灰封盖密封盖合于所述清灰口(3)上。

8.根据权利要求1所述的单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备，其特征在于：还包括固定于所述除尘器上盖(12)内的连接推杆驱动器，所述电磁阀(14)与所述连接推杆驱动器相连接，所述连接推杆驱动器与所述连接推杆(9)驱动连接。

9.根据权利要求1所述的单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备，其特征在于：所述过滤布袋下安装盘(6)与所述过滤布袋上安装盘(7)通过弹簧(8)相互连接。

10.一种单晶硅生长过程用自动清洁除尘方法，其特征在于：包括如权利要求1所述的单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备，还包括以下步骤：

S1：所述单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备各部分之间放置O型橡胶密封圈密封；

S2：气体从底部进风口(2)首先进入集成式防粉尘燃烧的过滤装置(4)；

S3：经过过滤装置(4)后通过除尘器底座(13)上的圆孔进入36个650mm长的过滤布袋(5)；

S4：过滤布袋(5)悬挂在过滤布袋下安装盘(6)上，过滤布袋下安装盘(6)由电磁阀(14)控制的连接推杆(9)和弹簧(8)固定于过滤布袋上安装盘(7)上，过滤布袋上安装盘(7)与除尘器筒体(1)相连；

S5：电磁阀(14)通电后按照一定周期使得连接推杆(9)上下移动带动过滤布袋下安装盘(6)上下振动，导致过滤布袋(5)变形，灰尘与过滤布袋(5)分离后沉积到除尘器筒体(1)底部；

S6：经过一段时间后由底部清灰口(3)清理出去。