[发明专利]一种单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备及方法

说明书

本发明公开了一种单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备及方法，包括除尘器筒体、进气口、清灰口、过滤装置、过滤布袋、过滤布袋下安装盘、过滤布袋上安装盘、布袋安装口、出气口、除尘器上盖、泄压阀和电磁阀。由于采用了上述技术方案，本发明涉及的一种单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备及方法，能够防止有毒挥发物对操作人员的伤害，保护操作人员的身体健康，能够简化除尘设备清理过程，提高设备的稳定性和耐用性，能够极大的提高生产效率，具有广阔的市场前景。

技术领域

本发明涉及非金属晶体设备领域，特别涉及一种单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备及方法。

背景技术

硅单晶的制备一般在常压惰性气氛氩气中进行，液态硅熔体在高温下严重侵蚀石英坩埚发生反应生成大量SiO挥发物，SiO从溶液中蒸发后将随着氩气由真空泵抽出炉室。但蒸发的SiO容易冷凝于炉室内各物体表面，为了防止SiO等颗粒进入真空泵腔体损坏真空泵，在主真空泵前设置过滤SiO等颗粒的除尘设备。单晶硅制备周期较长，除尘设备使用的滤网过滤能力有限，需要每次拉晶结束后进行人工清理，清理过程繁琐不彻底且易吸入有毒性的掺杂剂挥发物，消耗时间长，降低了生产效率。

发明内容

本发明的目的在于提供一种单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备及方法，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备，包括除尘器筒体、进气口、清灰口、过滤装置、过滤布袋、过滤布袋下安装盘、过滤布袋上安装盘、布袋安装口、出气口、除尘器上盖、泄压阀和电磁阀；

所述除尘器上盖连接于所述除尘器筒体顶部，所述电磁阀和所述泄压阀分别设置于所述除尘器上盖两侧的所述除尘器筒体顶部，所述泄压阀下端与所述除尘器筒体内部相连通；

所述过滤布袋上安装盘固定于所述除尘器筒体上部内侧壁上，所述过滤布袋下安装盘连接于所述过滤布袋上安装盘下侧，所述过滤布袋固定于所述过滤布袋下安装盘上；

所述出气口连接于所述除尘器筒体上部，所述布袋安装口连接于所述除尘器筒体中部两侧；

所述进气口和所述清灰口分别连接于所述除尘器筒体底部两侧，所述过滤装置固定于所述除尘器筒体底部内，所述过滤装置两端分别与所述进气口和所述清灰口相连接。

进一步的，上述技术方案中，还包括连接推杆，所述连接推杆的上端与所述过滤布袋上安装盘固定连接，所述连接推杆的下端与所述过滤布袋下安装盘固定连接。

进一步的，上述技术方案中，还包括除尘器底座,所述除尘器底座固定于所述过滤装置上侧的所述除尘器筒体上。

进一步的，上述技术方案中，所述除尘器底座上设置多个圆孔，所述过滤布袋为多个，各个圆孔与各个所述过滤布袋的下端位置相对应。

进一步的，上述技术方案中，所述进气口、所述清灰口、所述布袋安装口、所述出气口、所述除尘器上盖、所述泄压阀分别通过O型密封圈与所述除尘器筒体密封连接。

进一步的，上述技术方案中，还包括铰接连接于所述布袋安装口上的布袋封盖，布袋封盖密封盖合于所述布袋安装口上。

进一步的，上述技术方案中，还包括铰接连接于所述清灰口上的清灰封盖，清灰封盖密封盖合于所述清灰口上。

进一步的，上述技术方案中，还包括固定于所述除尘器上盖内的连接推杆驱动器，所述电磁阀与所述连接推杆驱动器相连接，所述连接推杆驱动器与所述连接推杆驱动连接。

进一步的，上述技术方案中，所述过滤布袋下安装盘与所述过滤布袋上安装盘通过弹簧相互连接。

一种单晶硅生长过程用自动清洁除尘方法，包括所述的单晶硅生长过程用自动清洁除尘设备，还包括以下步骤：