[发明专利]光刻机安全快门装置

权利要求书

1.一种光刻机安全快门装置，包括开设有通光孔(11)的罩壳(10)，其特征在于，还包括：

驱动体(20)，安装于所述罩壳(10)的外侧壁上；

执行体(30)，设置在所述罩壳(10)内部，具有完全遮蔽所述通光孔(11)的第一位置和完全不遮蔽所述通光孔(11)的第二位置；

传动体(40)，分别与所述驱动体(20)和所述执行体(30)连接，所述罩壳(10)的侧壁上开设有供所述传动体(40)穿过的开口，所述驱动体(20)通过所述传动体(40)驱动所述执行体(30)遮蔽或打开所述通光孔(11)；所述传动体(40)包括：

曲柄(41)，与所述驱动体(20)连接；

摇杆(42)，与所述执行体(30)连接；

连杆(43)，所述连杆(43)的一端与所述曲柄(41)连接，另一端与所述摇杆(42)连接。

2.根据权利要求1所述的光刻机安全快门装置，其特征在于，所述光刻机安全快门装置还包括固定杆(50)，所述固定杆(50)的一端与所述驱动体(20)连接，另一端与所述执行体(30)连接。

3.根据权利要求1所述的光刻机安全快门装置，其特征在于，所述光刻机安全快门装置还包括通风管(60)，所述罩壳(10)上开设有通风孔，所述通风管(60)的一端连接风机，另一端与所述通风孔连通。

4.根据权利要求1所述的光刻机安全快门装置，其特征在于，所述驱动体(20)包括：

安装壳(21)，安装于所述罩壳(10)的外侧壁上；

动力元件(22)，设置在所述安装壳(21)内，且所述动力元件(22)的输出轴与所述曲柄(41)连接。

5.根据权利要求4所述的光刻机安全快门装置，其特征在于，所述动力元件(22)为汽缸或电机或电磁铁。

6.根据权利要求4所述的光刻机安全快门装置，其特征在于，所述驱动体(20)还包括：

探测片(23)，与所述动力元件(22)的输出轴连接；

传感器(24)，设置在所述安装壳(21)内，用于检测所述探测片(23)的位置。

7.根据权利要求4所述的光刻机安全快门装置，其特征在于，所述驱动体(20)还包括壳盖(26)，所述壳盖(26)与所述安装壳(21)连接。

8.根据权利要求4所述的光刻机安全快门装置，其特征在于，所述驱动体(20)还包括隔热片(25)，所述隔热片(25)与所述动力元件(22)的输出轴套接连接，且所述隔热片(25)设置在所述曲柄(41)与所述动力元件(22)的主体之间。

9.根据权利要求1所述的光刻机安全快门装置，其特征在于，所述执行体(30)包括：

轴座(31)，与所述罩壳(10)连接；

转轴(32)，贯穿所述轴座(31)，且与所述摇杆(42)套接；

叶片(33)，与所述转轴(32)套接连接。

10.根据权利要求9所述的光刻机安全快门装置，其特征在于，所述执行体(30)还包括阻尼器(34)，所述阻尼器(34)与所述转轴(32)连接。

11.根据权利要求10所述的光刻机安全快门装置，其特征在于，所述执行体(30)还包括阻热片(35),所述阻热片(35)与所述转轴(32)套接连接，且所述阻热片(35)设置在所述摇杆(42)和所述轴座(31)之间。