[发明专利]光刻机安全快门装置

说明书

本发明公开了一种光刻机安全快门装置，包括开设有通光孔的罩壳、驱动体、执行体和传动体。驱动体安装于罩壳的外侧壁上；执行体具有完全遮蔽通光孔的第一位置和完全不遮蔽通光孔的第二位置；传动体分别与驱动体和执行体连接，驱动体通过传动体驱动执行体遮蔽或打开通光孔。上述的光刻机安全快门能够有效提高光刻机曝光效率和曝光精度。

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种光刻机安全快门装置。

背景技术

光刻技术是指在光照作用下，借助光刻机将掩膜版上的图形转移到晶片(如表面涂油光敏感介质的半导体晶片或玻璃基片)上的技术。在光刻过程中，晶片放在晶片台上，通过处在光刻机内的曝光装置，将掩膜板上的图形投射到晶片表面。

一般的，光刻机曝光装置通过安全快门控制曝光量，光刻机安全快门安装于灯室出光口处，光刻机正常工作曝光时，安全快门处于打开状态，安全快门叶片完全不挡光；完成曝光或光刻机出现非正常工作状态(如突发断电、断气)时，安全快门快速关闭，遮挡光路且保证不漏光，以确保曝光精度。然而，在实现本发明过程中，发明人发现现有技术中至少存在如下问题：安全快门工作于高温、高辐射、高强度光照环境中，高强度光照环境热影响大，热工况容易引起热损伤导致安全快门开关失效，影响光刻机曝光效率，且影响曝光精度。

发明内容

本发明的目的在于提出一种光刻机安全快门装置，以克服传统光刻机安全快门存在的容易因热损伤导致开光失效的问题，能够提高光刻机曝光效率和曝光精度。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

一种光刻机安全快门装置，包括开设有通光孔的罩壳，还包括：

驱动体，安装于罩壳的外侧壁上；

执行体，具有完全遮蔽通光孔的第一位置和完全不遮蔽通光孔的第二位置；

传动体，分别与驱动体和执行体连接，驱动体通过传动体驱动执行体遮蔽或打开通光孔。

在其中一个实施例中，传动体包括：

曲柄，与驱动体连接；

摇杆，与执行体连接；

连杆，连杆的一端与曲柄连接，另一端与摇杆连接。

在其中一个实施例中，上述光刻机安全快门装置还包括固定杆，固定杆的一端与驱动体连接，另一端与执行体连接。

在其中一个实施例中，上述光刻机安全快门装置还包括通风管，罩壳上开设有通风孔，通风管的一端连接风机，另一端与通风孔连通。

在其中一个实施例中，驱动体包括：

安装壳，安装于罩壳的外侧壁上；

动力元件，设置在安装壳内，且动力元件的输出轴与曲柄连接。

在其中一个实施例中，动力元件为汽缸或电机或电磁铁。

在其中一个实施例中，驱动体还包括：

探测片，与动力元件的输出轴连接；

传感器，设置在安装壳内，用于检测探测片的位置。

在其中一个实施例中，驱动体还包括壳盖，壳盖与安装壳连接。

在其中一个实施例中，驱动体还包括隔热片，隔热片与动力元件的输出轴套接连接，且隔热片设置在曲柄与动力元件的主体之间。

在其中一个实施例中，执行体包括：

轴座，与罩壳连接；

转轴，贯穿轴座，且与摇杆套接；

叶片，与转轴套接连接。