[发明专利]夹持装置及包括其的掩模组件制造装置

权利要求书

1.夹持装置，包括：

夹持单元；以及

拉伸单元，所述拉伸单元使所述夹持单元移动，

其中，所述夹持单元包括：

基础台；

第一驱动台和第二驱动台，所述第一驱动台和所述第二驱动台彼此相隔开地布置在所述基础台上；以及

第一指部和第二指部，所述第一指部布置在所述第一驱动台上，且所述第二指部布置在所述第二驱动台上，

其中，所述第一驱动台和所述第二驱动台被配置成分别在选自x轴方向、y轴方向和z轴方向中的任意一个方向上进行移动，或者将选自在所述y轴方向上延伸的第一旋转轴线、在所述x轴方向上延伸的第二旋转轴线和在所述z轴方向上延伸的第三旋转轴线中的任意一个旋转轴线作为轴线进行旋转，

其中，所述拉伸单元被配置成使所述夹持单元在所述x轴方向或所述y轴方向上移动，以及

其中，当所述拉伸单元使所述夹持单元在所述x轴方向或所述y轴方向上移动时，所述第一指部和所述第二指部被配置成同时在所述x轴方向或所述y轴方向上移动。

2.如权利要求1所述的夹持装置，其中，所述第一驱动台的最小移动单位与所述拉伸单元的最小移动单位彼此不同。

3.如权利要求2所述的夹持装置，其中，所述第一驱动台的最小移动单位为0.1至0.2μm，并且所述拉伸单元的最小移动单位为1μm。

4.如权利要求1所述的夹持装置，其中，所述拉伸单元包括：

第一电机，所述第一电机提供用于使所述夹持单元在所述x轴方向上移动的动力；

驱动杆，所述驱动杆传递由所述第一电机提供的动力；

第一支承台，所述第一支承台与所述驱动杆连接以在所述x轴方向上进行移动；

第二电机，所述第二电机提供用于使所述夹持单元在所述y轴方向上移动的动力；以及

第二支承台，所述第二支承台接收来自所述第二电机的动力以在所述y轴方向上进行移动。

5.如权利要求1所述的夹持装置，还包括：

第三驱动台，所述第三驱动台布置在所述基础台上；以及

第三指部，所述第三指部布置在所述第三驱动台上。

6.如权利要求1所述的夹持装置，还包括：

第一侧面驱动部，所述第一侧面驱动部布置在所述第一指部的一侧。

7.如权利要求6所述的夹持装置，其中，所述第一侧面驱动部包括压电材料。

8.如权利要求7所述的夹持装置，其中，所述第一侧面驱动部被配置成通过膨胀或收缩来使所述第一指部在所述y轴方向上移动。