[发明专利]夹持装置及包括其的掩模组件制造装置有效

专利信息
申请号: 201810171097.0 申请日: 2018-03-01
公开(公告)号: CN109423601B 公开(公告)日: 2022-07-05
发明(设计)人: 金明圭;郑京勳 申请(专利权)人: 三星显示有限公司
主分类号: C23C14/04 分类号: C23C14/04;C23C14/24
代理公司: 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 代理人: 王达佐;刘铮
地址: 韩国*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 夹持 装置 包括 模组 制造
【说明书】:

提供了夹持装置及包括该夹持装置的掩模组件制造装置。根据本发明一实施方式的夹持装置作为包括夹持单元和使夹持单元移动的拉伸单元的夹持装置,其中,夹持单元包括基础台、相隔开地布置在基础台上的第一驱动台和第二驱动台,以及布置在第一驱动台上的第一指部和布置在第二驱动台上的第二指部。

技术领域

本发明涉及夹持装置及包括该夹持装置的掩模组件制造装置。

背景技术

在一般的显示装置之中,有机发光显示装置不仅具有宽视角以及出色的对比度,而且还具有响应速度快的优点。

另外,有机发光显示装置的包括电极和发光层的中间层可通过各种方法形成,其中的一种方法为沉积法。沉积法为利用具有与待形成的薄膜的图案相同的图案的精细金属掩模来蒸发材料的方式。

发明内容

解决的技术问题

本发明所要解决的技术问题在于提供提高对齐精度的夹持装置。

本发明所要解决的另一技术问题在于提供提高工艺的效率性的夹持装置。

本发明所要解决的另一技术问题在于提供提高对齐精度的掩模组件制造装置。

本发明所要解决的另一技术问题在于提供提高工艺的效率性的掩模组件制造装置。

本发明的技术问题并不受上述技术问题的限制,并且通过下文中的记载,本领域技术人员能够明确地理解未提及的其它技术问题。

解决方法

用于解决上述技术问题的根据本发明一实施方式的夹持装置作为包括夹持单元和使夹持单元移动的拉伸单元的夹持装置,其中,夹持单元包括基础台、相隔开地布置在基础台上的第一驱动台和第二驱动台,以及布置在第一驱动台上的第一指部和布置在第二驱动台上的第二指部,其中,第一驱动台和第二驱动台分别在选自x轴方向、y轴方向和z轴方向中的任意一个方向上进行移动,或者将选自在y轴方向上延伸的第一旋转轴线、在x轴方向上延伸的第二旋转轴线和在z轴方向上延伸的第三旋转轴线中的任意一个旋转轴线作为轴线进行旋转,并且拉伸单元使夹持单元在x轴方向或y轴方向上移动。

此外,第一驱动台的最小移动单位可与拉伸单元的最小移动单位彼此不同。

此外,第一驱动台的最小移动单位可以是0.1至0.2μm,并且拉伸单元的最小移动单位可以是1μm。

此外,当拉伸单元使夹持单元在x轴方向或y轴方向上移动时,第一指部和第二指部可同时在x轴方向或y轴方向上移动。

此外,拉伸单元可包括第一电机、驱动杆、第一支承台、第二电机和第二支承台,其中,第一电机提供用于使夹持单元在x轴方向上移动的动力,驱动杆传递由第一电机提供的动力,第一支承台与驱动杆连接以在x轴方向上进行移动,第二电机提供用于使夹持单元在y轴方向上移动的动力,并且第二支承台接收来自第二电机的动力以在y轴方向上进行移动。

此外,夹持装置还可包括布置在基础台上的第三驱动台和布置在第三驱动台上的第三指部。

此外,夹持装置还可包括布置在第一指部的一侧处的第一侧面驱动部。

此外,第一侧面驱动部可包括压电材料。

此外,第一侧面驱动部可通过膨胀或收缩来使第一指部在y轴方向上移动。

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