[发明专利]液滴排出装置、液滴排出方法、程序和计算机存储介质有效
申请号: | 201810181802.5 | 申请日: | 2018-03-06 |
公开(公告)号: | CN108568383B | 公开(公告)日: | 2021-12-24 |
发明(设计)人: | 宫崎一仁;柿野彰;吉富济 | 申请(专利权)人: | 东京毅力科创株式会社 |
主分类号: | B05C5/02 | 分类号: | B05C5/02;B05C11/10;B05C13/02 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 龙淳 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 排出 装置 方法 程序 计算机 存储 介质 | ||
1.一种液滴排出装置,其向工件排出功能液的液滴来进行描绘,所述液滴排出装置的特征在于,包括:
载置所述工件的工作台;
向载置于所述工作台的所述工件排出液滴的液滴排出头;
移动机构,其使所述工作台和所述液滴排出头在主扫描方向、与主扫描方向正交的副扫描方向和旋转方向上相对地移动;
拍摄部,其设置于主扫描方向的所述液滴排出头的下游侧,用于获取所述工件的拍摄图像;和
控制部,其计算所述工作台和所述液滴排出头的相对位置的修正量,基于该修正量来控制所述移动机构,
所述工件包括在计算所述修正量时使用的、在上表面形成有多个基准标记的基准工件,在该基准工件的各基准标记的附近设定有作为来自所述液滴排出头的液滴的着液目标位置的目标,
在所述基准工件的上表面形成有包含多个所述基准标记并且供液滴向该基准标记着液的着液区域,
所述着液区域配置成在副扫描方向上延伸,并在主扫描方向上排列多个,
所述控制部对每一条扫描线使从所述液滴排出头向所述基准标记的附近的所述目标排出液滴后,由所述拍摄部获取所述基准工件的拍摄图像,基于所述拍摄图像,来检测所述目标的位置与所述液滴的着液位置的位置偏离量,基于所述位置偏离量来计算所述修正量,
所述扫描线设定为在主扫描方向上延伸并在副扫描方向上排列多个,
多个所述扫描线之间的改行动作,是通过所述移动机构使所述工作台在副扫描方向上改行动作而进行的。
2.如权利要求1所述的液滴排出装置,其特征在于:
所述控制部计算所述工作台的旋转方向的位置和副扫描方向的位置的修正量,
之后,计算所述液滴排出头的旋转方向的位置和副扫描方向的位置的修正量,
之后,计算所述工作台的主扫描方向的位置的修正量,
之后,计算所述液滴排出头的液滴排出时机的修正量。
3.如权利要求1或2所述的液滴排出装置,其特征在于:
多个所述扫描线包括计算出所述修正量的第一扫描线和未计算所述修正量的第二扫描线,
所述控制部对所述第一扫描线的所述修正量进行插值,来计算所述第二扫描线的所述修正量。
4.一种液滴排出方法,其使用液滴排出装置向工件排出功能液的液滴来进行描绘,所述液滴排出方法的特征在于:
所述液滴排出装置包括:
载置所述工件的工作台;
向载置于所述工作台的所述工件排出液滴的液滴排出头;
移动机构,其使所述工作台和所述液滴排出头在主扫描方向、与主扫描方向正交的副扫描方向和旋转方向上相对地移动;和
拍摄部,其设置于主扫描方向的所述液滴排出头的下游侧,用于获取所述工件的拍摄图像,
所述工件包含在上表面形成有多个基准标记的基准工件,在该基准工件的各基准标记的附近设定有作为来自所述液滴排出头的液滴的着液目标位置的目标,
在所述基准工件的上表面形成有包含多个所述基准标记并且供液滴向该基准标记着液的着液区域,
所述着液区域配置成在副扫描方向上延伸,并在主扫描方向上排列多个,
所述液滴排出方法包括:对每一条扫描线分别进行如下的第一步骤~第四步骤,
使从所述液滴排出头向所述基准标记的附近的所述目标排出液滴的第一步骤;
之后,由所述拍摄部获取所述基准工件的拍摄图像的第二步骤;
之后,基于所述拍摄图像,检测所述目标的位置和所述液滴的着液位置的位置偏离量的第三步骤;和
之后,基于所述位置偏离量,计算所述工作台与所述液滴排出头的相对位置的修正量,基于该修正量来控制所述移动机构的第四步骤,
所述扫描线设定为在主扫描方向上延伸并在副扫描方向上排列多个,
多个所述扫描线之间的改行动作,是通过所述移动机构使所述工作台在副扫描方向上改行动作而进行的。
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