[发明专利]液滴排出装置、液滴排出方法、程序和计算机存储介质

说明书

本发明涉及液滴排出装置、液滴排出方法、程序和计算机存储介质。在向工件排出功能液的液滴来进行描绘的液滴排出装置中，提高从液滴排出头向工件的液滴的着液精度。控制部(150)在使由液滴排出头(34)排出的液滴着液在形成于基准工件(Wf)的上表面的基准标记后，由第二拍摄部(42)获取基准工件(W)的拍摄图像，根据拍摄图像，检测基准标记的位置与液滴的着液位置的位置偏离量，根据位置偏离量，计算工作台(20)与液滴排出头(34)的相对位置的修正量。

技术领域

本发明涉对工件排出功能液的液滴并进行描绘的液滴排出装置、使用该液滴排出装置的液滴排出方法、程序和计算机存储介质。

背景技术

在现有技术中，作为使用功能液对工件进行描绘的装置，已知将该功能液以液滴来排出的喷射方式的液滴排出装置。液滴排出装置广泛应用在制造例如有机EL装置、滤色器、液晶显示装置、等离子显示器(PDP装置)、电子发射装置(FED装置、SED装置)等的电光装置(平板显示器：FPD)时等。

例如专利文献1中记载的液滴排出装置包括：排出功能液的液滴的功能液滴排出头(液滴排出头)；搭载有工件的工作站(工作台)；和沿导向用的一对支承座延伸的方向(主扫描方向)使工作台移动的移动机构(直线电动机)。然后，利用工作台相对液滴排出头使工件相对地移动，并且从液滴排出头对在工件上预先形成的隔堤排出功能液，由此进行对工件的描绘。

在这样的液滴排出装置中，为了在工件上的期望的位置正确地排出功能液，预先进行工件的校准。工作台构成为包含旋转动作并在水平方向上可移动，通过设置于工作台上方的校准用的照相机对工件的校准标记进行拍摄。然后，根据拍摄的图像来修正工作台的水平方向的位置，由此进行工件的校准。之后，使经校准的工件移动到预先指定的位置，从液滴排出头向工件的隔堤内排出功能液。

另外，在液滴排出装置的描绘动作中，使工件在主扫描方向(Y轴正方向)移动，并进行第一描绘动作(往复路径)。之后，使工作台在与主扫描方向正交的副扫描方向(X轴方向)上移动，而且使工件在主扫描方向(Y轴负方向)上移动，并且进行第二描绘动作(回程路径)。然后，再次使工作台在副扫描方向(X轴方向)上移动，而且使工件在主扫描方向(Y轴正方向)上移动，并且进行第三描绘动作(往复路径)。通过这样的描绘动作，对工件的整个面进行描绘。

此外，在以下的说明中，在如上所述进行第一描绘动作～第三描绘动作的时候，有时将使工作台在副扫描方向(X轴方向)上移动的动作称为“改行”。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010－198028号公报

发明内容

发明想要解决的技术问题

但是，在进行了工件的校准之后，在使工作站向功能液滴排出头移动的过程中，由于工件的姿态偏离或者工作站的移动机构的机械的精度或者直行性变化、温度变化、随时间变化等要因，存在功能液滴排出头与工件上的隔堤的位置关系发生变化的情况。

另外，将工作台进行了改行时，由于该工作台的姿态、重心、直行性发生变化等要因，存在液滴排出头与隔堤的位置关系发生变化的情况。这样的工作台的姿态变化、重心的变化、直行性的变化，可以是由于例如改行时的移动机构的机械的精度或者移动工作台的台的非平坦性等而产生。

然而，近年来，通过液滴排出装置制造的电视等的产品，大型、高清晰(例如4K、8K)的成为主流，与工件的大型化对应的液滴排出装置也大型化。因此，成为不能无视由上述的要因导致的液滴排出头与隔堤的位置偏离，即从液滴排出头排出的液滴着液在工件上的隔堤时的位置偏离的情况。但是，由于像素尺寸的影响，该位置偏离的允许范围也能够缩小在例如±2μm以下。