[发明专利]紫外线传感器及其制备方法

说明书

公开了一种紫外线传感器及其制备方法，在柔性基底上依次打印梳状结构的电极和有机半导体层，相邻的电极之间形成有沟道，所述有机半导体层填充所述沟道。本公开可以简单、快速的制备紫外线传感器，有效地降低了紫外线传感器的成本，所得紫外线传感器响应速度快，具有良好的循环稳定性。

技术领域

本发明涉及半导体器件领域，具体涉及一种紫外线传感器及其制备方法。

背景技术

紫外线传感器是一种将紫外光信号转换为电信号的电子器件。目前应用的紫外线传感器的基底一般为硅基材料(包括玻璃)或者金属等，其活性层包括：无机材料(氮化镓、硫化锌、氧化锌等)和氧化石墨烯等。传统的电极制备工艺复杂，难以实现大规模制备，同时制备过程造成了材料的极大浪费，增加了传感器的成本，对环境污染较大。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种紫外线传感器及其制备方法，可以简单、快速的制备紫外线传感器，有效地降低了紫外线传感器的成本。

根据本发明的第一方面，提供了一种紫外线传感器，包括：

柔性基底；

多个电极，以相互间隔的方式设置于所述柔性基底上，相邻电极之间形成有沟道；以及，

有机半导体层，填充所述沟道；

其中，所述电极通过打印导电材料形成，所述有机半导体层通过打印有机半导体混合溶液形成。

优选地，所述有机半导体层覆盖所述多个电极。

优选地，所述多个电极设置为梳状结构。

优选地，所述有机半导体混合溶液包括：有机半导体材料和有机聚合物的混合溶液；

其中，所述有机半导体材料包括2,7-二辛基[1]苯并噻吩并[3,2-b]苯并噻吩(2,7-Dioctyl[1]benzothieno[3,2-b][1]benzothiophene，C8-BTBT)、TIPS－Pantacene、PBTTT-C12和/或T-DPPT中的一种或多种，所述有机聚合物为聚苯乙烯、聚氯乙稀、聚甲基丙烯酸甲酯(Poly Methyl Methacrylate，PMMA)或聚乳酸(Polylactic acid，PLA)等绝缘聚合物中的一种或多种。

优选地，所述有机半导体混合溶液的溶剂为甲苯、间二甲苯、对二甲苯、邻二甲苯、1,2,3-三甲苯、1,2,4-三甲苯、1,3,5-三甲苯、四氢萘、N,N-二甲基甲酰胺、二甲基亚砜或苯甲醚中的一种或多种。

本发明另一方面公开了如第一方面所述的紫外线传感器的制备方法，包括：

在柔性基底上通过喷墨打印导电材料形成多个电极；

在所述多个电极上通过喷墨打印有机半导体混合溶液形成有机半导体层。

优选地，所述多个电极设置为梳状结构，相邻电极之间形成有沟道。

优选地，在所述多个电极上通过喷墨打印有机半导体混合溶液形成有机半导体层还包括：

在所述沟道内通过喷墨打印有机半导体混合溶液形成有机半导体层；