[发明专利]一种透射电镜块体样品已检测区域的定位方法

权利要求书

1.一种透射电镜块体样品已检测区域的定位方法，其特征在于：具体包括以下步骤：

步骤一、拍摄块体透射电镜样品薄区孔图像：第一次检测样品时，在低倍数下找到样品的薄区孔，将其放置到视场中心，调节放大倍数获取薄区孔的完整形状；

步骤二、检测样品并记录特征区域坐标参数：检测样品时，对于每一特征区域的坐标参数进行记录X₀、Y₀、Z₀、α₀、β₀；

步骤三、分析第一次检测结果：系统分析第一次检测结果，查漏补缺，对于需要补充数据的特征区域，找出与之相应的坐标参数X₀、Y₀、Z₀、α₀、β₀，并利用以下公式将坐标换算成样品杆没有倾转时的坐标(x，y)，

步骤四、再次检测样品，拍摄块体透射电镜样品薄区孔图像：第二次将样品放入透射电镜，在低倍数下找到样品的薄区孔，将其放置到视场中心，拍摄与步骤一放大倍数相同的薄区孔图像；

步骤五、确定再次检测时的样品放置状态：根据第二次薄区孔和第一薄区孔的形状的对比，确定再次检测时样品放置状态，样品是否发生180°翻转，并测量两次薄区孔重合所需沿Z轴的逆时针旋转角度θ；

步骤六、计算再次检测时需补充检测步骤三中特征区域的坐标(x₁，y₁)：根据步骤五确定的放置状态：(1)再次检测时样品放置没有发生180°翻转时，步骤三中需补充数据特征区域的新坐标为：x₁＝xcosθ-ysinθ，y₁＝xsinθ+ycosθ，(2)再次检测时样品放置发生180°翻转，步骤三中需补充数据特征区域的新坐标为：x₁＝xcosθ+ysinθ，y₁＝xsinθ-ycosθ。

2.根据权利要求1所述的一种定位透射电镜块体样品已检测区域的方法，其特征在于：透射电镜块体样品为标准φ3mm样品。