[发明专利]一种可调节阴极挡板在审
| 申请号： | 201810187709.5 | 申请日： | 2018-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN108193183A | 公开（公告）日： | 2018-06-22 |
| 发明（设计）人： | 杨宏斌;冷庆吉;齐丽婧;郭仙;柳丽丽;李忠祥 | 申请（专利权）人： | 河北物华天宝镀膜科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 | 代理人： | 倪钜芳 |
| 地址： | 065599 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 伸缩机构 阴极挡板 可调节 开口 成膜 挡板 固定螺栓 真空磁控溅射设备 大面积镀膜玻璃 磁控溅射阴极 横向均匀性 相对放置 轴对称 长板 底端 减慢 优化 | ||
【权利要求书】：
1.一种可调节阴极挡板，包括：L型挡板(1)、伸缩机构(2)及固定螺栓(3)，其特征在于：阴极挡板设有两块轴对称的L型挡板(1)相对放置，两块L型挡板(1)之间设有开口，L型挡板(1)的长板底端设有可调节的伸缩机构(2)，L型挡板(1)与伸缩机构(2)通过固定螺栓(3)连接。
2.根据权利要求1所述的一种可调节阴极挡板，其特征在于：L型挡板(1)由长板与短板组成，长板水平放置，短板垂直放置。
3.根据权利要求1所述的一种可调节阴极挡板，其特征在于：紧固螺栓为膨胀螺栓。
4.根据权利要求1所述的一种可调节阴极挡板，其特征在于：伸缩机构(2)表面设有若干通孔，所述通孔表面设有螺纹。
5.根据权利要求1所述的一种可调节阴极挡板，其特征在于：L型挡板(1)为绝缘材料。
6.根据权利要求1所述的一种可调节阴极挡板，其特征在于：L型挡板(1)以短板为旋转轴的旋转构件。
7.根据权利要求1所述的一种可调节阴极挡板，其特征在于：L型挡板(1)的长板表面设有刻度线。
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