[发明专利]一种可调节阴极挡板

说明书

本发明涉及真空磁控溅射设备技术领域，一种可调节阴极挡板，包括：L型挡板、伸缩机构及固定螺栓，阴极挡板设有两块轴对称的L型挡板相对放置，两块L型挡板之间设有开口，L型挡板的长板底端设有可调节的伸缩机构，L型挡板与伸缩机构通过固定螺栓连接，通过调节两块L型挡板形成的开口大小，当挡板开口变小时，相应的成膜速率会减慢，当挡板开口变大时，相应的成膜速率会加快，因此，可以达到调节磁控溅射阴极成膜速率从而优化大面积镀膜玻璃横向均匀性。

技术领域

本发明涉及真空磁控溅射设备技术领域，更加具体的，是一种可调节阴极挡板。

背景技术

真空磁控溅射镀膜玻璃横向均匀性是产品质量的重要指标，特别是大面积平板玻璃镀膜，良好的均匀性可以有效发挥镀膜装载量，进而节约生产成本。

调节产品均匀性是大面积平板玻璃镀膜生产过程中最难控制的工艺技术，想要调节好产品的均匀性，仅凭气体调节基本是不可能完成的。

影响镀膜玻璃均匀性的因素有很多，有磁场分布、靶材间距、气体隔离、阴极挡板开口等，还有些是靶材本身的原因。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种可调节阴极挡板，调节真空磁控溅射阴极的成膜速率从而实现调节镀膜玻璃的横向均匀性。

本发明的技术方案如下：

一种可调节阴极挡板，包括：L型挡板、伸缩机构及固定螺栓，阴极挡板设有两块轴对称的L型挡板相对放置，两块L型挡板之间设有开口，L型挡板的长板底端设有可调节的伸缩机构，L型挡板与伸缩机构通过固定螺栓连接。

L型挡板由长板与短板组成，长板水平放置，短板垂直放置。

紧固螺栓为膨胀螺栓。

伸缩机构表面设有若干通孔，所述通孔表面设有螺纹。

L型挡板为绝缘材料。

L型挡板以短板为旋转轴的旋转构件。

L型挡板的长板表面设有刻度线。

本发明公开的方法的有益效果是：

通过调节两块L型挡板形成的开口大小，当挡板开口变小时，相应的成膜速率会减慢，当挡板开口变大时，相应的成膜速率会加快，因此，可以达到调节磁控溅射阴极成膜速率从而优化大面积镀膜玻璃横向均匀性。

附图说明

图1为本发明一种可调节阴极挡板的结构示意图。

1、L型挡板；2、伸缩机构；3、固定螺栓。

具体实施方式

下面对本本发明的技术方案进行具体阐述，需要指出的是，本本发明的技术方案不限于实施例所述的实施方式，本领域的技术人员参考和借鉴本本发明技术方案的内容，在本本发明的基础上进行的改进和设计，应属于本本发明的保护范围。

真空磁控溅射镀膜玻璃横向均匀性是产品质量的重要指标，特别是大面积平板玻璃镀膜，良好的均匀性可以有效发挥镀膜装载量，进而节约生产成本。

通过调节阴极挡板开口大小是调节镀膜玻璃产品均匀性的重要措施，故阴极挡板开口的大小可控制成膜的速率。

实施例一：

一种可调节阴极挡板，包括：L型挡板1、伸缩机构2及固定螺栓3，阴极挡板设有两块轴对称的L型挡板1相对放置，两块L型挡板1之间设有开口，L型挡板1的长板底端设有可调节的伸缩机构2，L型挡板1与伸缩机构2通过固定螺栓3连接，通过调节两块L型挡板形成的开口大小，当挡板开口变小时，相应的成膜速率会减慢，当挡板开口变大时，相应的成膜速率会加快，因此，可以达到调节磁控溅射阴极成膜速率从而优化大面积镀膜玻璃横向均匀性。