[发明专利]用于空间上测量纳米级结构的方法和设备

权利要求书

1.一种空间上测量样品(13)中的多个纳米级结构的方法，所述方法包括步骤：

-利用荧光标记(8、9)在不同位置处标记(1)各个结构；

-利用激发光(25)激发荧光标记(8、9)从而发射荧光(42)，其中，-激发光(25)的强度分布(24)

-或者对通过荧光标记(8、9)发射荧光具有影响的另外的光的强度分布(48)

包括局部的最小值(26)，所述最小值布置在样品(13)中的不同位置处；

-既针对各个荧光标记(8、9)也针对最小值(26)的不同位置(20、21、22、23)单独地记录样品(13)发射出的荧光(42)；以及

-从针对相应的荧光标记(8、9)针对最小值(26)的不同位置(20、21、22、23)记录的荧光(42)的强度，确定(5)各个荧光标记(8、9)在样品(13)中的位置，

-其中，所述方法包括将各个结构(7)耦接(2)到各个定位辅助件(12)的另外的步骤，所述定位辅助件在样品(13)中的位置是

-已知的，或者

-在耦接(2)的步骤之后从由定位辅助件(12)反射的光确定，以及

-其中，激发的步骤包括将局部的最小值(26)在不同位置(20、21、22、23)处布置(3)在近距离范围(18)中，所述近距离范围围绕相应的定位辅助件(19)的位置，近距离范围(18)的尺寸不大于激发光(25)的波长和荧光(42)的波长下的衍射极限。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，近距离范围(18)的尺寸不大于激发光(25)的波长和荧光(42)的波长下的衍射极限的一半或四分之一。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，从荧光(42)的强度确定各个荧光标记(8、9)的位置，针对最小值(26)的不超过4n、不超过3n或者不超过2n个不同位置(20、21、22、23)记录所述荧光(42)的强度，其中，n是下述空间方向的数量，在所述空间方向上确定各个荧光标记(8、9)在样品(13)中的位置。

4.根据权利要求3所述的方法，其中，确定(5)各个荧光标记(8、9)在样品(13)中的位置的步骤包括：将包括局部极值的空间函数拟合到针对相应的荧光标记(8、9)针对最小值(26)的不同位置(20、21、22、23)记录的荧光的强度。

5.根据权利要求4所述的方法，其中，通过利用最小值(26)扫描：

-反射光的所述定位辅助件(12)中的至少一个、

-荧光标记(8、9)中的至少一个、或

-另外的荧光标记，

以及在扫描时利用时间分辨率记录(4)从样品(13)反射出的光或者从样品(13)发射出的荧光(42)，确定包括局部极值的所述空间函数。

6.根据权利要求1或2所述的方法，其中，从以下中选择在不同位置处标记各个结构(7)的荧光标记(8、9)：

-在从荧光标记(8、9)的激发光谱和发射光谱中选择的光谱特性方面不相同的荧光标记(8、9)；以及

-具有活跃状态和非活跃状态并且能够利用切换光在荧光标记的活跃和非活跃状态之间转换的荧光标记(8、9)，在活跃状态下，荧光标记能够被激发光(25)激发从而发射荧光(42)，在非活跃状态下，至少利用相同的激发光(25)，荧光标记不能被激发来发射荧光(42)。

7.根据权利要求1或2所述的方法，其中，相对于用于将最小值(26)定位在近距离范围(18)内的方式而言，通过另外的用于使最小值(26)相对于样品(13)相对运动的方式，使最小值(26)接近定位辅助件(19)的位置。

8.根据权利要求7所述的方法，其中，定位辅助件(19)的位置相对于样品(13)的固定点(29)固定，相对于样品(13)的所述固定点(29)接近定位辅助件(19)的位置。