[发明专利]热式空气流量计有效
| 申请号： | 201810190200.6 | 申请日： | 2013-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN108458762B | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 绪方公俊;石塚典男;松本昌大 | 申请（专利权）人： | 日立汽车系统株式会社 |
| 主分类号： | G01F1/68 | 分类号： | G01F1/68 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 空气 流量计 | ||
【权利要求书】：
1.一种热式空气流量计，其特征在于，包括：
流量检测部；用于配置所述流量检测部的副通路；和被输入从所述流量检测部得到的信号，且向外部输出信号的LSI，
所述副通路的侧壁配置在所述流量检测部与所述LSI之间或者配置在所述LSI上，
设置在所述LSI的内部的扩散电阻的一部分或全部，由压电电阻系数被平均化的多晶硅膜形成。
2.如权利要求1所述的热式空气流量计，其特征在于，
设置在所述LSI的内部的扩散电阻，是构成A/D转换电路的多个电阻，
该多个电阻配置在从所述副通路的侧壁起一定距离的位置。
3.如权利要求1或2所述的热式空气流量计，其特征在于：
所述流量检测部和所述LSI被树脂覆盖。
4.如权利要求3所述的热式空气流量计，其特征在于：
所述树脂为热固化性树脂。
5.如权利要求1或2所述的热式空气流量计，其特征在于：
所述副通路由热可塑性树脂成形。
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