[发明专利]热式空气流量计

说明书

为了提供测量精度高的热式流量计，采用以下结构：具有流量检测部、用于配置上述流量检测部的副通路和被输入从上述流量检测部得到的信号且向外部输出信号的LSI，上述副通路的侧壁配置在上述流量检测部与上述LSI之间或者配置在上述LSI上，设置在上述LSI的内部的扩散电阻的长度方向与单晶硅的100轴平行。

本申请是申请号为201380074118.2、申请日为2013年12月13日的同名专利申请的分案申请

技术领域

本发明涉及热式空气流量计。

背景技术

测量空气的流量的热式空气流量计具有用于测量空气流量的流量检测部，通过在上述流量检测部和作为测量对象的上述气体之间进行热传递，测量上述气体的空气流量。热式空气流量计所测量的空气流量作为各种装置的重要的控制参数广泛使用。热式空气流量计的特征在于与其它方式的流量计相比能够以相对高的精度测量空气的流量。

但是，期待进一步提高空气流量的测量精度。例如，在搭载有内燃机的车辆中，节省燃料的要求和排气净化的要求都非常高。为了实现这些要求，需要以较高的精度测量作为内燃机的主要参数的吸入空气量。测量被导入内燃机的吸入空气量的热式空气流量计包括取入吸入空气量的一部分的副通路和配置在上述副通路的流量检测部，上述流量检测部在其与被测量气体之间进行热传递，由此测量流过上述副通路的被测量气体的状态，输出表示被导入上述内燃机的吸入空气量的电信号。这样的技术例如公开于日本特开2011-252796号公报(专利文献1)中。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2011-252796号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

为了利用热式空气流量计以较高精度测量空气的流量，要求在设置于用于测量流过主通路的空气流量的热式空气流量计的副通路，以较高精度将流量检测部定位且固定，正确地测量由流量检测部检测出的流量。专利文献1记载的技术中，用树脂预先制造具有成形有用于嵌入流量检测部的孔的副通路的箱体，除了该箱体之外，制造具有流量检测部的传感器组件，然后在将上述流量检测部插入到上述副通路的孔的状态下，将上述传感器组件固定于箱体。在上述副通路的孔与流量检测部之间的间隙和传感器组件向箱体的嵌入部分的间隙中，填充有弹性粘接剂，利用接合剂的弹性力吸收彼此的线膨胀差。

在这样的结构中，难以将包含流量检测部的传感器组件正确地设定并固定于包含副通路的箱体。即，存在传感器组件和设置于箱体的副通路的位置和角度因粘接剂的状态等的不同而简单地变化的问题。因此，在现有的热式空气流量计中，难以进一步提高流量的检测精度。

为了将流量检测部相对于副通路正确地定位，将包含流量检测部的传感器组件在箱体形成的同时进行固定是有效的。但是，在该情况下，与使用粘接材料的情况相比，由传感器组件与箱体部件的线膨胀系数差导致的热应力较高地产生，配置在传感器组件内的LSI的输出(主要是电阻因热应力而发生变化)发生变动，存在热式空气流量计的测量精度降低的问题。

本发明的目的在于提供一种测量精度高的热式空气流量计。

用于解决技术课题的技术方案

为了达成上述目的，本发明的热式空气流量计包括：流量检测部；用于配置上述流量检测部的副通路；和被输入从上述流量检测部获得的信号，且向外部输出信号的LSI，上述副通路的侧壁配置在上述流量检测部与上述LSI之间或者配置在上述LSI上，设置在上述LSI的内部的扩散电阻的长度方向与单晶硅的100轴平行。

发明效果

根据本发明，能够提供测量精度高的热式空气流量计。

附图说明

图1是本发明的第1实施例中的传感器组件平面图。