[发明专利]玻璃微粒堆叠体的制造方法及制造装置

权利要求书

1.一种玻璃微粒堆叠体的制造方法，其一边通过流量控制机构对玻璃原料的流量进行控制一边向玻璃微粒生成用的燃烧器供给，在沿轴向往复移动且旋转的初始件上形成玻璃微粒的堆叠层，

在该玻璃微粒堆叠体的制造方法中，

不改变通过所述流量控制机构进行控制的所述玻璃原料的流量，使在形成所述堆叠层的两端部时向所述燃烧器供给的所述玻璃原料的流量少于在形成除所述两端部以外的部分时向所述燃烧器供给的所述玻璃原料的流量。

2.根据权利要求1所述的玻璃微粒堆叠体的制造方法，其中，

所述玻璃原料包含四氯化锗。

3.根据权利要求1或2所述的玻璃微粒堆叠体的制造方法，其中，

设有：供给配管线，其使所述玻璃原料从所述流量控制机构向所述燃烧器流动；分支配管线，其在所述供给配管线的中途从所述供给配管线进行分支；以及开度调节阀，其配置于所述分支配管线的中途，

对所述开度调节阀的开度进行调节，使在形成所述堆叠层的两端部时向所述燃烧器供给的所述玻璃原料的流量少于在形成除所述两端部以外的部分时向所述燃烧器供给的所述玻璃原料的流量。

4.根据权利要求3所述的玻璃微粒堆叠体的制造方法，其中，在所述分支配管线的出口设有除害装置，

在形成所述堆叠层的两端部时，使所述玻璃原料向所述除害装置流动，并且将所述分支配管线内的压力调节为规定的压力。

5.一种玻璃微粒堆叠体的制造装置，其具有玻璃原料供给装置，该玻璃原料供给装置当在沿轴向往复移动且旋转的初始件上通过玻璃微粒生成用的燃烧器形成玻璃微粒的堆叠层时，向所述燃烧器供给玻璃原料，

在该玻璃微粒堆叠体的制造装置中，

所述玻璃原料供给装置具有：

玻璃原料的流量控制机构；

供给配管线，其使所述玻璃原料从所述流量控制机构向所述燃烧器流动；

排气配管线，其使所述玻璃原料从所述流量控制机构向除害装置流动；以及

压力控制机构，

所述排气配管线具有：

开度调节阀；

第二气体的配管线，其使与所述玻璃原料不同的所述第二气体在设置于所述开度调节阀的下游的汇流点汇流；以及

压力计，其在所述汇流点附近对所述排气配管线内的压力进行测定，

所述压力控制机构是以使通过所述压力计测定的压力成为规定的压力的方式对所述第二气体的配管线的流量进行控制的机构。