[发明专利]硅片喷砂机用硅片输送装置

说明书

本发明涉及硅片制造技术领域，尤其涉及硅片喷砂机用硅片输送装置。该输送装置包括输送架、真空载台和传动装置，所述真空载台可移动地放置于所述输送架上，其中，真空载台包括载台体和固定盘，所述载台体内设有真空腔室，所述固定盘上设有硅片固定区域，所述固定盘盖设于真空腔室上，所述硅片固定区域具有与所述真空腔室连通的用于固定硅片的多个通气孔；所述输送架具有上硅片端和下硅片端；所述传动装置沿输送架的长度方向设置，推动所述真空载台由所述输送架的上硅片端移动至下硅片端，该输送装置利用真空载台固定硅片，无需对硅片做其它紧固夹持操作，提高固定硅片的速度，进而提高硅片的输送效率，同时也降低了硅片出现擦痕和破碎的几率。

技术领域

本发明涉及硅片制造技术领域，尤其涉及硅片喷砂机用硅片输送装置。

背景技术

目前国内市场的金刚线多晶硅片表面过于光滑，不能直接用于制作太阳能电池片，而我公司经过自主研发，通过对硅片的喷砂处理解决了这一世界性技术难题，但由于产能要求高，再加上金刚线多晶硅片的材料脆性及厚度超薄导致其易碎的特性，因此在输送硅片时对硅片的方式固定提出了更高的要求，而目前国内市场并没有适合该硅片喷砂机的硅片输送设备。

因此，针对以上不足，亟需提供一种与硅片喷砂机配套使用，且硅片固定速度快，并能减少碎片率的硅片输送装置。

发明内容

(一)要解决的技术问题

本发明的目的是供一种与硅片喷砂机配套使用的硅片输送装置，以满足硅片喷砂机的产能要求，并减少硅片输送过程中的破碎率。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种硅片喷砂机用硅片输送装置，设置于喷枪模组下方，包括输送架、真空载台和传动装置，所述真空载台可移动地放置于所述输送架上，其中，所述真空载台包括载台体和固定盘，所述载台体内设有真空腔室，所述固定盘上设有硅片固定区域，所述固定盘盖设于所述真空腔室上，所述硅片固定区域具有与所述真空腔室连通的用于固定硅片的多个通气孔；所述输送架具有上硅片端和下硅片端；所述传动装置沿所述输送架的长度方向设置，用于推动所述真空载台由所述输送架的上硅片端移动至下硅片端。

优选的，所述传动装置包括两个传动单元，两个所述传动单元分别设置于所述输送架的两侧，其中，每个所述传动单元均包括主动链轮、从动链轮和链条，所述主动链轮设置在所述下硅片端，所述从动链轮设置于所述上硅片端，所述链条与所述主动链轮和从动链轮连接，且所述链条上设有卡块；

其中，两个所述传动单元的主动链轮之间及从动链轮之间均通过连接轴连接。

优选的，所述输送架包括两根平行设置的输送导轨，每根所述输送导轨设有凹槽，在所述凹槽内设有多个可转动滚轮，且所述滚轮的上表面不低于所述输送导轨的上表面。

优选的，还包括真空吸管，所述真空吸管的一端与真空泵连接，另一端与所述真空腔室可拆卸地连接，用于保持所述真空腔室内的真空状态，且所述真空吸管与所述真空腔室连接的一端随所述真空载台移动。

优选的，所述传动装置沿所述输送架的长度方向间隔地设有多个所述卡块。

优选的，包括多根真空吸管和与所述真空吸管数量相同的无杆气缸，每个所述无杆气缸均包括气缸导轨和套设于所述气缸导轨上的滑块，每根所述真空吸管均相对应地穿设固定于一个滑块上，随所述滑块移动；和/或

所述上硅片端设置有上料架，所述下硅片端设置有下料架，且所述下料架高于所述输送架。

优选的，在所述上硅片端设有用于检测所述卡块的光电开关；

在每根无杆气缸上均设置一个用于控制滑块移动的行程开关；