[发明专利]分离装置及分离方法

说明书

本发明提供一种分离装置及分离方法，能够扩大间隔维持部件的形状的选择自由度，防止通用性欠缺。该分离装置具备：多个保持单元(20)，其保持粘接片(AS)的端部，该粘接片(AS)在一面(AS1)粘附有多个被粘物(CP)；分离单元(30)，其使保持了粘接片(AS)的端部的保持单元(20)相对移动，扩大被粘物(CP)的相互间隔；维持部件安装单元(50)，其将间隔维持部件(DM)安装于粘接片(AS)，该间隔维持部件(DM)能够维持由分离单元(30)扩大后的被粘物(CP)的相互间隔；维持部件安装单元(50)将间隔维持部件(DM)安装于粘接片(AS)的另一面(AS2)。

技术领域

本发明涉及分离装置及分离方法。

背景技术

目前，已知有如下的胶带扩张装置(分离装置)，即，扩大粘接片上粘附的多个被粘物的相互间隔(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：(日本)特开2008－140874号公报

但是，如专利文献1所记载的现有的分离装置中，在胶粘带(粘接片)的粘附有晶片(被粘物)的正面(一面)侧，粘附(安装)转移框架(间隔维持部件)，故而，作为间隔维持部件，必须是具有用于避让被粘物的内径(贯通孔)的环状的部件，进而存在作为分离装置的通用性欠缺那样的不良情况。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种分离装置及分离方法，能够扩大间隔维持部件的形状的选择自由度，防止通用性欠缺。

本发明采用了权利要求中记载的结构。

根据本发明，将间隔维持部件安装于在一面粘附有被粘物的粘接片的另一面，因而，作为间隔维持部件，无需采用具有用于避让被粘物的贯通孔的环状的部件，能够扩大该间隔维持部件的形状的选择自由度，防止通用性欠缺。

另外，如果具备切断单元，则能够在输送在粘接片上相互间隔经扩大的被粘物时，防止粘接片的端部妨碍输送。

进一步地，作为间隔维持部件，如果采用基材和保持用粘接剂层的至少两层的层积体，则间隔维持部件的选择自由度进一步扩大，能够有效地防止通用性欠缺。

另外，如果维持部件安装单元具备层积单元，则无需制备事先层积有基材和保持用粘接剂层的间隔维持部件。

进一步地，作为间隔维持部件，如果采用其他的粘接片，则能够将该间隔维持部件简单地安装于粘接片。

附图说明

图1(A)是本发明实施方式的分离装置的平面图，图1(B)是图1(A)的侧面图；

图2(A)、图2(B)是本发明实施方式的分离装置的动作说明图；

图3(A)～(C)是本发明实施方式的分离装置的动作说明图；

图4(A)、图4(B)是本发明另一例的说明图。

标记说明

10、10A：分离装置

20：保持单元

30、30A：分离单元

50、50A：维持部件安装单元

55：层积单元

60：切断单元

70：抵接单元

AS：粘接片

AS1：一面

AS2：另一面

BA：双面粘接片(保持用粘接剂层)