[发明专利]一种检测设备及其控制方法

权利要求书

1.一种检测设备，其特征在于，包括：探针支架、并排设置的两个探针支架轨道、距离检测器，以及控制器；其中，

所述探针支架的两端分别固定于两个所述探针支架轨道上，且所述探针支架能够在所述探针支架轨道上沿预先设定的移动方向移动；

所述距离检测器，用于分别检测所述探针支架的两端到对应的所述探针支架轨道上的参考位置的距离信息，并将所述距离信息发送至所述控制器；

所述控制器，用于根据所述距离信息确定所述探针支架的倾斜角度，并根据所述倾斜角度与预设的参考角度确定所述探针支架的位置调整信息，以控制所述探针支架进行位置调整；所述倾斜角度为所述探针支架的移动方向与所述探针支架的延伸方向之间的夹角。

2.如权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述距离传感器为两个；且每一个所述距离传感器包括信号发射器和信号接收器。

3.如权利要求2所述的检测设备，其特征在于，所述信号发射器位于所述探针支架上，所述信号接收器位于对应的所述探针支架轨道上的参考位置处；或，

所述信号接收器位于所述探针支架上，所述信号发射器位于对应的所述探针支架轨道上的参考位置处。

4.如权利要求2所述的检测设备，其特征在于，所述信号发射器为激光发射器，所述信号接收器为激光感知传感器。

5.如权利要求1所述的检测设备，其特征在于，所述参考位置位于所述探针支架轨道的末端。

6.如权利要求1所述的检测设备，其特征在于，还包括：探针组装；

所述探针组装，包括：用于与待测设备电连接的探针。

7.如权利要求6所述的检测设备，其特征在于，还包括：用于储存所述探针组装的台架，以及机械手；

所述机械手，用于在测试阶段将所述探针组装移动到所述探针支架上，以及在测试结束后将所述探针组装移动到所述台架上。

8.一种如权利要求1～7任一项所述的检测设备的控制方法，其特征在于，包括：

距离检测器分别检测探针支架的两端到对应的探针支架轨道上的参考位置的距离信息，并将所述距离信息发送至控制器；

所述控制器根据所述距离信息确定所述探针支架的倾斜角度，并根据所述倾斜角度与预设的参考角度确定所述探针支架的位置调整信息，以控制所述探针支架进行位置调整；所述倾斜角度为所述探针支架的移动方向与所述探针支架的延伸方向之间的夹角。

9.如权利要求8所述的控制方法，其特征在于，所述检测设备还包括探针组装、台架以及机械手；

所述控制方法还包括：

所述控制器控制所述机械手在测试阶段将所述探针组装移动到所述探针支架上，以及在测试结束后将所述探针组装移动到所述台架上。

10.如权利要求9所述的控制方法，其特征在于，在对所述探针组装进行尺寸切换或向待测设备加载测试信号之前，所述控制器根据所述位置调整信息控制所述探针支架进行位置调整。