[发明专利]电源一体型真空泵有效
| 申请号： | 201810200633.5 | 申请日： | 2018-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN108730205B | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 酒井春彦;森山伸彦 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D25/06;F04D29/58 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电源 体型 真空泵 | ||
【权利要求书】：
1.一种电源一体型真空泵，其是泵主体与泵电源装置成为一体的电源一体型真空泵，其特征在于包括：
基板，配置于所述泵电源装置，并安装电子组件；
冷却装置，具有以与所述基板接触的方式受到固定的冷却面；以及
隔热部件，热传导率小于构成所述冷却面的材料的热传导率，覆盖所述冷却面的未固定有所述基板的区域，且暴露于所述泵电源装置的内部空间，所述隔热部件防止所述冷却装置的所述冷却面产生结露。
2.根据权利要求1所述的电源一体型真空泵，其特征在于：
所述冷却装置是供冷媒流通，且配置在所述泵主体与所述泵电源装置之间的冷却套管，
在所述冷却套管的所述泵电源装置侧的面上形成有所述冷却面。
3.根据权利要求1或2所述的电源一体型真空泵，其特征在于：
所述隔热部件是以能够相对于所述冷却面装卸的方式配置。
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