[发明专利]电源一体型真空泵

说明书

本发明的电源一体型真空泵能够防止冷却面结露。电源一体型真空泵(1)是泵单元(20)与电源单元(30)成为一体的真空泵，其包括：基板(311)，配置于电源单元(30)，并安装电子组件；冷却套管(302)，具有以与基板(311)接触的方式受到固定的冷却面(303)；以及隔热板(350a、350b)，热传导率小于构成冷却面(303)的材料的热传导率，且覆盖冷却面(303)的未固定有基板(311)的区域。

技术领域

本发明涉及一种电源一体型真空泵。

背景技术

用以对半导体制造装置等的外部装置进行真空排气的真空泵包括泵主体、与对所述泵主体进行控制的电源装置。作为此种真空泵，已知有将泵主体与电源装置设为一体的电源一体型真空泵(例如参照专利文献1)。

在专利文献1所记载的电源一体型真空泵中，在泵主体与电源装置之间配置有供冷却水循环的冷却套管(jacket)。冷却套管的表面作为冷却面而发挥功能，在配置于电源装置的基板中，安装需要强冷却的需强冷却组件的基板是以使基板背面与冷却套管的表面接触的方式而受到固定。

现有技术文献

专利文献

专利文献1日本专利特开2014-148977号公报

发明内容

发明所要解决的问题

通常，电源装置为半密闭型构造，电源装置内部的露点温度(dew-pointtemperature)与电源装置的外部即外部气体相同。但是，在所述电源一体型真空泵中，若冷却套管的冷却面中存在未固定有基板的露出区域，则露出区域有可能温度比露点温度更低而产生结露。

解决问题的技术手段

本发明优选的实施方式的电源一体型真空泵是泵主体与泵电源装置成为一体的电源一体型真空泵，其包括：基板，配置于所述泵电源装置，并安装电子组件；冷却装置，具有以与所述基板接触的方式受到固定的冷却面；以及隔热部件，热传导率小于构成所述冷却面的材料的热传导率，且覆盖所述冷却面的未固定有所述基板的区域。

在更优选的实施方式中，所述冷却装置是供冷媒流通，且配置在所述泵主体与所述泵电源装置之间的冷却套管，在所述冷却套管的所述泵电源装置侧的面上形成有所述冷却面。

在更优选的实施方式中，所述隔热部件是以能够相对于所述冷却面装卸的方式配置。

发明的效果

根据本发明，能够防止冷却面结露。

附图说明

图1是表示电源一体型真空泵的概略结构的剖视图。

图2是表示电源单元的概略结构的方框图。

图3是对配置于冷却套管的冷却面的组件进行说明的图。

【主要元件符号说明】

1：电源一体型真空泵 2：转子

3：转子轴 4：泵基座

6：马达 8：旋转叶片

9：固定叶片 10：间隔件

11：螺杆定子 12：圆筒部

13：泵壳 13a：进气口

20：泵单元 26：排气口