[发明专利]一种蒸发源的搬送装置在审
| 申请号： | 201810201885.X | 申请日： | 2018-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN108486532A | 公开（公告）日： | 2018-09-04 |
| 发明（设计）人： | 藤野诚治;朱晓庆;高峰;王宝友;陈祥麟 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 许志勇 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 连接臂 蒸发源 搬送装置 导轨组件 驱动 机械手 连接臂组 传动部 真空蒸镀设备 平移 基座连接 驱动连接 驱动组件 枢转连接 伸长 摆动 臂组 拉伸 传送 配合 | ||
1.一种蒸发源的搬送装置，其特征在于，包括：
基座；
导轨组件；
机械手，活动连接所述导轨组件；
连接臂组，包括至少两个依次枢转连接的连接臂，所述至少两个连接臂中包括与所述基座连接的首连接臂以及与所述机械手连接的末连接臂；
驱动组件，包括连接于基座与首连接臂之间的驱动部以及连接相邻连接臂的传动部，所述驱动部与传动部配合带动各连接臂摆动，以在所述导轨组件限定下驱动所述连接臂组伸长或缩短。
2.根据权利要求1所述的搬送装置，其特征在于，所述至少两个连接臂还包括枢转连接所述首连接臂和末连接臂的中间连接臂，所述中间连接臂的数量为至少一个且首尾枢接。
3.根据权利要求1所述的搬送装置，其特征在于，所述驱动部为电机，所述首连接臂的一端固定连接所述电机的输出轴。
4.根据权利要求1所述的搬送装置，其特征在于，所述连接臂的一端形成有枢转轴，所述连接臂的另一端与相邻连接臂的枢转轴枢转连接，相邻连接臂的枢转轴通过传送部传动。
5.根据权利要求4所述的搬送装置，其特征在于，所述枢转轴与传动部的接触面形成有凸部。
6.根据权利要求4所述的搬送装置，其特征在于，所述末连接臂枢转连接机械手。
7.根据权利要求1所述的搬送装置，其特征在于，在所述驱动部和第一连接臂之间连接有变速器。
8.根据权利要求7所述的搬送装置，其特征在于，所述变速器包括与所述驱动部连接的一级齿轮，以及连接所述一级齿轮和所述首连接臂的二级齿轮。
9.根据权利要求7所述的搬送装置，其特征在于，所述驱动部和所述变速器固定设置于真空室外；所述连接臂组和机械手设置于真空室内。
10.根据权利要求8所述的搬送装置，其特征在于，所述二级齿轮的转动轴穿过所述真空室壁上的开孔后连接所述连接臂，所述开孔处设置有环状密封件。
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