[发明专利]一种蒸发源的搬送装置

说明书

本发明公开了一种蒸发源的搬送装置，属于真空蒸镀设备技术领域，蒸发源的搬送装置包括：基座；导轨组件；机械手，平移地安装至导轨组件；连接臂组，包括至少两个依次枢转连接的连接臂，至少两个连接臂中包括与基座连接的首连接臂以及与机械手连接的末连接臂；驱动组件，包括连接于基座与首连接臂之间的驱动部以及连接相邻连接臂的传动部，驱动部与传动部配合带动各连接臂摆动，以在导轨组件限定下驱动连接臂组伸长或缩短。本发明提供的蒸发源的搬送装置其连接臂组可以在驱动部的驱动下拉伸或缩短，具有较高的传送蒸发源的效率。

技术领域

本发明涉及真空蒸镀设备技术领域，尤其涉及一种蒸发源的搬送装置。

背景技术

真空蒸镀设备包括真空室，真空室内设置有多个用于承载基片的平台以及用于搬送蒸发源的机械手，机械手可以将蒸发源搬送到各个平台上方以将材料镀至该平台上的基片上。

目前，真空室内各工作平台一般是排布于同一条直线的。真空蒸镀设备还设置有驱动组件，这个驱动组件一般包括驱动电机以及位于驱动电机输出轴上的丝杆传动机构，机械手连接丝杆传动结构，以在驱动电机的作用下，沿直线运动，进而移动至各平台的上方。

然而，由于丝杆传动机构仅具有一个可移动的滑块，每次调整机械手的位置，均只能依靠该滑块的运动，导致机械手难以快速移动至各平台上方，造成蒸镀效率过低，难以满足生产需求。

发明内容

为了提高真空蒸镀设备的蒸镀效率，本发明提供一种蒸发源的搬送装置。

为实现上述目的，本发明提供一种蒸发源的搬送装置，包括：

基座；

导轨组件；

机械手，活动连接所述导轨组件；

连接臂组，包括至少两个依次枢转连接的连接臂，所述至少两个连接臂中包括与所述基座连接的首连接臂以及与所述机械手连接的末连接臂；

驱动组件，包括连接于基座与首连接臂之间的驱动部以及连接相邻连接臂的传动部，所述驱动部与传动部配合带动各连接臂摆动，以在所述导轨组件限定下驱动所述连接臂组伸长或缩短。

优选地，所述至少两个连接臂还包括枢转连接所述首连接臂和末连接臂的中间连接臂，所述中间连接臂的数量为至少一个且首尾枢接。

优选地，所述驱动部为电机，所述首连接臂的一端固定连接所述电机的输出轴。

优选地，所述连接臂的一端形成有枢转轴，所述连接臂的另一端与相邻连接臂的枢转轴枢转连接，相邻连接臂的枢转轴通过传送部传动。

优选地，所述枢转轴与传动部的接触面形成有凸部。

优选地，所述末连接臂枢转连接机械手。

优选地，在所述驱动部和第一连接臂之间连接有变速器。

优选地，所述变速器包括与所述驱动部连接的一级齿轮，以及连接所述一级齿轮和所述首连接臂的二级齿轮。

优选地，所述驱动部和所述变速器固定设置于真空室外；所述连接臂组和机械手设置于真空室内。

优选地，所述二级齿轮的转动轴穿过所述真空室壁上的开孔后连接所述连接臂，所述开孔处设置有环状密封件。

优选地，所述导轨组件包括导轨和滑动连接于导轨上的滚珠滑块；所述滚珠滑块连接所述机械手。

与现有技术相比，本发明提供的蒸发源的搬送装置其连接臂组内各连接臂可以在驱动部的驱动下同步摆动，实现连接臂组高效的拉伸或缩短，具有较高的传送蒸发源的效率。此外，由于连接臂组的拉伸或缩短程度可以调节，当机械手往复移动的距离增大时，可以不用更换连接臂组，从而控制了搬送装置的成本。

附图说明