[发明专利]物理量检测器、物理量检测装置、电子设备以及移动体

权利要求书

1.一种物理量检测器，其特征在于，

所述物理量检测器具备基板部以及锤，所述锤固定于可动部，

将相互正交的三个轴设为X轴、Y轴和Z轴时，所述基板部具备：

基部，包括与所述Z轴正交且彼此为正反面关系的所述Z轴的+侧的第一主面和所述Z轴的-侧的第二主面；

所述可动部，连接于所述基部，包括与所述Z轴正交且彼此为正反面关系的所述Z轴的+侧的第三主面和所述Z轴的-侧的第四主面；

支撑部，从所述基部向所述Y轴的+侧延伸；

延伸部，从所述支撑部沿着所述X轴延伸，且所述延伸部在所述Z轴方向上的厚度比所述支撑部在所述Z轴方向上的厚度厚；以及

物理量检测元件，固定于所述基部的所述第一主面和所述可动部的所述第三主面，

在从所述Z轴俯视时，所述延伸部和所述锤重叠。

2.根据权利要求1所述的物理量检测器，其特征在于，

在所述延伸部的与所述Z轴正交的主面设置有凹部。

3.根据权利要求1或2所述的物理量检测器，其特征在于，

在从所述Z轴俯视时，所述锤的与所述支撑部重叠的区域在所述Z轴方向的厚度比所述锤的与所述可动部重叠的区域在所述Z轴的厚度薄。

4.根据权利要求1或2所述的物理量检测器，其特征在于，

在从所述Z轴俯视时，所述锤在所述锤固定于所述可动部的区域和所述锤与所述延伸部重叠的区域之间的一部分设置有凹部。

5.根据权利要求1或2所述的物理量检测器，其特征在于，

所述锤与所述可动部的接合面为粗糙面。

6.一种物理量检测装置，其特征在于，具备权利要求1至5中任一项所述的物理量检测器和基座部，

所述基部的所述第二主面设置有固定于所述基座部的第一固定部。

7.一种电子设备，其特征在于，具备权利要求1至5中任一项所述的物理量检测器。

8.一种移动体，其特征在于，具备权利要求1至5中任一项所述的物理量检测器。