[发明专利]物理量检测器、物理量检测装置、电子设备以及移动体

说明书

本发明提供了物理量检测器、物理量检测装置、电子设备以及移动体。本发明的物理量检测器具备基板部和锤，所述基板部具备：基部；连接于基部的可动部；从基部延伸的支撑部；从支撑部延伸的延伸部；以及固定于基部和可动部的物理量检测元件。所述锤固定于可动部。在从延伸部的厚度方向的俯视中，延伸部和锤重叠。

技术领域

本发明涉及物理量检测器、具备该物理量检测器的物理量检测装置、电子设备以及移动体。

背景技术

先前以来，已知有使用振子等物理量检测元件的物理量检测装置(例如，加速度传感器)。这种物理量检测装置被构成为，由于力向检测轴方向进行作用，物理量检测元件的共振频率发生变化，由此检测施加于物理量检测装置的物理量(加速度)。并且，为了提高输出灵敏度，将物理量检测元件固定于悬臂，并在悬臂的一端安装有锤(配重块)。

【现有技术文献】

【专利文献】

专利文献1：日本特开2014-21094号公报

但是，专利文献1中记载的物理量检测装置被构造成，通过将锤抵接于设置在悬臂的周边的框部(支撑部)来抑制悬臂的破坏，但是在被施加超过允许值的物理量的情况下或为了进一步提高输出灵敏度而将锤加重的情况下，当锤的位移量变大而导致锤抵接于设置在悬臂的周边的框部时，存在破坏设置在悬臂的周边的框部的问题。

发明内容

本发明为了解决上述技术问题的至少一部分而完成，能够作为以下适用例或者方式来实现。

[适用例1]本适用例涉及的物理量检测器，其特征在于，具备：基板部和锤。所述基板部具备：基部；连接于所述基部的可动部；从所述基部延伸的支撑部；从所述支撑部延伸的延伸部；以及固定于所述基部和所述可动部的物理量检测元件。所述锤固定于所述可动部，在从所述延伸部的厚度方向的俯视时，所述延伸部和所述锤重叠。

根据本适用例，由于从支撑部延伸的延伸部在俯视中与锤重叠，因此，在被施加超过允许值的物理量的情况下，锤产生较大位移，与延伸部抵接。但是，由于延伸部为悬臂构造，因此，即使锤抵接，延伸部向锤的位移方向弯曲，能够抑制锤的位移量以及锤产生的冲击。因此，能够抑制设置于悬臂的周边的支撑部的破坏。从而，能够提供具有高灵敏度的物理量检测器。

[适用例2]在上述适用例中记载的物理量检测器中，优选的是，所述延伸部的厚度比所述支撑部的厚度厚。

根据本适用例，由于延伸部的厚度比支撑部的厚度厚，因此，延伸部的强度增加，即使锤抵接，能够进一步抑制锤的位移量以及锤产生的冲击，能够抑制设置于悬臂的周边的支撑部的破坏。

[适用例3]在上述适用例中记载的物理量检测器中，优选的是，所述延伸部具备凹部。

根据本适用例，由于在延伸部设置有凹部，因此，当锤抵接时，延伸部的前端侧容易以凹部为起点弯曲，从而能够抑制锤的位移量以及锤产生的冲击，能够抑制设置于悬臂的周边的支撑部的破坏。

[适用例4]在上述适用例中记载的物理量检测器中，优选的是，在所述俯视中，所述锤的与所述支撑部重叠的厚度比所述锤的与所述可动部重叠的厚度薄。

根据本适用例，由于锤的与支撑部重叠的厚度比锤的与可动部重叠的厚度薄，因此，与支撑部重叠的区域的锤容易弯曲。因此，当锤抵接于支撑部时，通过薄壁部弯曲，能够抑制锤的位移量以及锤产生的冲击，能够抑制设置于悬臂的周边的支撑部的破坏。

[适用例5]在上述适用例中记载的物理量检测器中，优选的是，在所述俯视中，所述锤在所述锤固定于所述可动部的区域和所述锤与所述延伸部重叠的区域之间的一部分设置有凹部。