[发明专利]诊断系统、诊断方法和存储介质

权利要求书

1.一种诊断系统，其特征在于，包括：

流量传感器，测定流体的流量，包括：阻力体；上游侧压力传感器，设置在所述阻力体的上游侧；以及下游侧压力传感器，设置在所述阻力体的下游侧；

流量测定部，根据由所述上游侧压力传感器和所述下游侧压力传感器检测出的各压力值，计算出流体的流量值；

第一阀，设置在所述上游侧压力传感器的上游侧；

从所述第一阀至所述阻力体的导入口为止的流路容积，由所述上游侧压力传感器测定压力；

输出关联值测定部，基于质量流量积分值、流路容积内的各压力和气体的状态方程式，测定表示所述流路容积的大小的测定体积值，所述质量流量积分值是对在所述流路容积内由所述上游侧压力传感器测定的上游侧压力产生变化的指定期间由所述流量测定部输出的流量进行时间积分而得到的，所述流路容积内的各压力是在所述质量流量积分值的时间积分的开始时点和结束时点由所述上游侧压力传感器测定的流路容积内的各压力，所述气体的状态方程式以所述流路容积为对象；

基准值存储部，存储阈值，所述阈值是为了判断所述测定体积值是否正常，而基于针对所述流路容积在指定的测定周边条件下测定的基准体积值而确定的；

修正部，根据在处于所述第一阀与所述阻力体之间的所述流路容积的下游侧由所述下游侧压力传感器测定的下游侧压力与同所述基准体积值相关联的下游侧压力之间的偏差，对所述测定体积值和所述阈值中的至少一方进行修正；以及

诊断部，根据由所述修正部修正了至少一方的所述测定体积值和所述阈值，来诊断所述流量传感器。

2.根据权利要求1所述的诊断系统，其特征在于，还包括基准输出关联值存储部，所述基准输出关联值存储部至少将在预先作为基准的测定周边条件下测定的所述基准体积值与包含于所述测定周边条件且由所述下游侧压力传感器测定的下游侧压力相关联地存储。

3.根据权利要求1所述的诊断系统，其特征在于，所述测定体积值是根据由所述上游侧压力传感器测定的所述指定期间的开始时点和结束时点的压力变化量、所述指定期间中的流体的温度和温度变化量中的任意一个、以及所述质量流量积分值而计算出的流体的体积值。

4.根据权利要求3所述的诊断系统，其特征在于，

还包括能截断所述流体的流动的第二阀，所述第二阀设置在所述阻力体的下游侧，

所述第二阀通过截断所述流体的流动而使流路容积的流体压力随时间变化。

5.一种流量传感器的诊断方法，对流量控制装置中的流量传感器的功能进行诊断，其特征在于，

所述流量控制装置包括：

流量传感器，测定流体的流量，包括：阻力体；上游侧压力传感器，设置在所述阻力体的上游侧；以及下游侧压力传感器，设置在所述阻力体的下游侧；

流量测定部，根据由所述上游侧压力传感器和所述下游侧压力传感器检测出的各压力值，计算出流体的流量值；

第一阀，设置在所述上游侧压力传感器的上游侧；以及

从所述第一阀至所述阻力体的导入口为止的流路容积，由所述上游侧压力传感器测定压力，

基于质量流量积分值、流路容积内的各压力和气体的状态方程式，测定表示所述流路容积的大小的测定体积值，所述质量流量积分值是对在所述流路容积内由所述上游侧压力传感器测定的上游侧压力产生变化的指定期间由所述流量测定部输出的流量进行时间积分而得到的，所述流路容积内的各压力是在所述质量流量积分值的时间积分的开始时点和结束时点由所述上游侧压力传感器测定的流路容积内的各压力，所述气体的状态方程式以所述流路容积为对象，

为了判断所述测定体积值是否正常而设定阈值作为基准值，所述阈值是基于针对所述流路容积在指定的测定周边条件下测定的基准体积值而确定的，

根据作为所述流路容积的下游侧的容积的压力且由所述下游侧压力传感器测定的下游侧压力与同所述基准体积值相关联的下游侧压力之间的偏差，对所述测定体积值和所述阈值中的至少一方进行修正，

根据由修正部修正了至少一方的所述测定体积值和所述阈值，来诊断所述流量传感器。

6.一种存储介质，存储有对流量控制装置中的流量传感器的功能进行诊断的诊断系统所使用的程序，其特征在于，

所述流量控制装置包括：

流量传感器，测定流体的流量，包括：阻力体；上游侧压力传感器，设置在所述阻力体的上游侧；以及下游侧压力传感器，设置在所述阻力体的下游侧；

流量测定部，根据由所述上游侧压力传感器和所述下游侧压力传感器检测出的各压力值，计算出流体的流量值；

第一阀，设置在所述上游侧压力传感器的上游侧；以及

从所述第一阀至所述阻力体的导入口为止的流路容积，由所述上游侧压力传感器测定压力，

所述程序使计算机发挥如下功能：

基于质量流量积分值、流路容积内的各压力和气体的状态方程式，测定表示所述流路容积的大小的测定体积值，所述质量流量积分值是对在所述流路容积内由所述上游侧压力传感器测定的上游侧压力产生变化的指定期间由所述流量测定部输出的流量进行时间积分而得到的，所述流路容积内的各压力是在所述质量流量积分值的时间积分的开始时点和结束时点由所述上游侧压力传感器测定的流路容积内的各压力，所述气体的状态方程式以所述流路容积为对象，

为了判断所述测定体积值是否正常而设定阈值作为基准值，所述阈值是基于针对所述流路容积在指定的测定周边条件下测定的基准体积值而确定的，

根据作为所述流路容积的下游侧的容积的压力且由所述下游侧压力传感器测定的下游侧压力与同所述基准体积值相关联的下游侧压力之间的偏差，对所述测定体积值和所述阈值中的至少一方进行修正，

根据由修正部修正了至少一方的所述测定体积值和所述阈值，来诊断所述流量传感器。