[发明专利]诊断系统、诊断方法和存储介质

说明书

本发明提供诊断系统、诊断方法、存储介质和流量控制装置，尽管测定周边条件变动，也能够更准确地诊断流量传感器的功能。诊断系统包括：流量传感器，测定流体的流量；修正部，测定所述流量传感器的输出值或与所述流量传感器的输出值相关的值(以下将它们统称为“输出关联值”)，并使测定的输出关联值与测定周边条件相关联，根据所述输出关联值的测定周边条件，对所述输出关联值或者为了判断所述输出关联值是否正常而预先设定的基准值进行修正；诊断部，根据所述修正部的修正结果对所述输出关联值和所述基准值进行比较，来诊断所述流量传感器的功能。

技术领域

本发明涉及诊断系统、诊断方法、存储介质和流量控制装置。

背景技术

以往公开的流量控制装置(质量流量控制器)所使用的诊断机构如专利文献1公开的那样，包括流量传感器和阀，所述流量传感器具备在流体流动的流路中产生压差的阻力体以及分别设置于该阻力体的上游侧和下游侧的压力传感器，所述阀对流量传感器的上游侧的流路进行开闭。在利用阀关闭流路的状态下对流路进行减压，根据此时从流量传感器得到的输出值或与所述输出值相关的值、即输出关联值(诊断用参数)是否与预先设定的基准值不同，来诊断流量传感器的功能。

在此，更具体地说明输出关联值，输出关联值是在由阀关闭流路的状态下使流路减压之后，根据由两个压力传感器测定的压力P1、P2的压差并使用式(1)计算出的质量流量Q。

Q＝(P1²-P2²)X···(1)

另外，P1是上游侧压力传感器的压力值，P2是下游侧压力传感器的压力值，X是根据气体种类而变化的系数。

接下来，使用在由上游侧压力传感器测定的压力随时间变化的指定时间内对质量流量Q进行时间积分的式(2)，计算出质量流量积分值n。另外，在图5中，a-b之间的斜线所示的部分的质量流量Q的总和表示质量流量积分值n。

此外，质量流量积分值n也可以利用气体的状态方程式表示成如式(3)所示的那样。

n＝P1_STARTV/RT-P1_ENDV/RT···(3)

另外，V是诊断用的体积值，P1_START是由上游侧压力传感器在指定时间的起始点测定的压力，P1_END是由上游侧压力传感器在指定时间的结束点测定的压力。

而且，从式(2)和式(3)导出的式(4)所表示的体积值V成为输出关联值。

另外，n是摩尔数(对使用式(1)算出的每单位时间的质量(质量流量Q)以时间进行积分得到的值，即质量流量积分值n)，R是根据气体种类确定的气体常数，T是由温度传感器测定的温度，在此视为恒定，ΔP1是由上游侧压力传感器在指定时间的起始点和结束点测定的压力的压力差。

在此，虽然在式(3)～式(4)中包含了指定时间的起始点和结束点之间的压力差和温度，但是上述值也可以是考虑了指定时间之间的压力和温度的变化的压力变化量和温度变化量。

然而，式(4)表示的输出关联值包含了温度和压力，这些值成为体积值V产生误差的原因。即，如果利用压力传感器在指定时间连续地测定随时间变化的压力，则因与流量传感器的下游侧连接的配管、各种设备等要素而产生的二次压力随着时间推移而发生变化，该二次压力变化对压力传感器的压力测定造成影响，不能在相同的测定周边条件下进行测定，该二次压力变化导致体积值V产生误差。此外，同样地温度也随着时间推移而发生变化，该温度的变化也对压力传感器的压力测定造成影响，不能在相同的测定周边条件下进行测定，该温度变化导致体积值V产生误差。