[发明专利]试样保持件、固定部件以及试样固定方法

权利要求书

1.一种试样保持件，使用于通过使探针沿着试样表面相对移动来进行测量的扫描型探针显微镜，其特征在于,具备：

试样容器，具有插入口，能够将试样从所述插入口插入至所述试样容器的内部；

固定部件，从所述插入口被插入至所述试样容器的内部，在与所述试样容器的内表面之间夹持并固定试样，其中，

所述固定部件，通过被插入至所述试样容器的内部而使周缘部弹性变形，以该弹性变形产生的弹力夹持试样，并且形成有用于使被夹持的试样的表面露出的开口部。

2.如权利要求1所述的试样保持件，其特征在于，所述固定部件其周缘部折弯而形成弹簧板部，所述弹簧板部弹性变形，由此以该弹力夹持试样。

3.如权利要求2所述的试样保持件，其特征在于，所述固定部件在其周缘部形成多个切口，通过所述多个切口形成多个所述弹簧板部。

4.一种固定部件，使用于通过使探针沿着试样表面相对移动来进行测量的扫描型探针显微镜，用于在与试样容器的内表面之间夹持并固定试样，其特征在于，具备：

开口部，用于使被夹持的试样的表面露出；

弹簧板部，通过周缘部折弯而形成。

5.如权利要求4所述的固定部件，其特征在于，在周缘部形成多个切口，通过所述多个切口形成多个所述弹簧板部。

6.一种试样固定方法，用于在通过使探针沿着试样表面相对移动来进行测量的扫描型探针显微镜中固定试样，其特征在于，包括：

试样设置步骤，将试样以浸渍在液体中的状态设置在具有插入口的试样容器的内部；

试样固定步骤，将固定部件从所述插入口插入至所述试样容器的内部并使其浸渍在液体中，在与所述试样容器的内表面之间夹持并固定试样，并且使试样的表面从形成于所述固定部件的开口部露出，

在所述试样固定步骤中，通过将所述固定部件插入至所述试样容器的内部，使所述固定部件的周缘部弹性变形，以该弹性变形产生的弹力夹持试样。