[发明专利]试样保持件、固定部件以及试样固定方法

说明书

提供一种试样保持件，即使在试样被浸渍在液体中的状态，也能以稳定的状态保持试样。试样保持件(1)具备试样容器(2)与固定部件(3)。固定部件(3)被插入至配置有试样(S)的状态的试样容器(2)内，在与试样容器(2)的底面之间夹持并固定试样。此时，固定部件(3)通过被插入至试样容器(2)的内部而使周缘部弹性变形，以该弹力夹持试样(S)。因此，即使将试样(S)以被浸渍在液体(B)中的状态设置在试样容器(2)的内部的情况下，也能够通过固定部件(3)以稳定的状态保持试样(S)。

技术领域

本发明涉及用于扫描型探针显微镜的试样保持件以及固定部件和用于在该扫描型探针显微镜中固定试样的试样固定方法，所述扫描型探针显微镜通过使探针沿着试样的表面相对移动来进行测量。

背景技术

以往，利用扫描型探针显微镜作为检查试样的微细表面形状的装置。在扫描型探针显微镜中，相对于试样的表面，使探针相对移动而进行扫描，由此在该扫描中，检测作用于探针与试样表面之间的物理量(隧道电流或原子力等)的变化。然后，以扫描中的上述物理量保持恒定的方式对探针的相对位置进行反馈控制，由此基于该反馈量，能够测量试样的表面形状。

在使用这样的扫描型探针显微镜进行试样的观察时，为了防止试样在观察中移动，需要以稳定状态配置试样。从这点出发，例如在被保持在专用的试样容器中的状态下将试样设置在观察位置(例如，参照下述专利文献1)。

在下述专利文献1中记载的固定方法中，将粘接剂涂布于设置在试样容器中的槽，将试样配置在该状态下的试样容器中，由此通过粘接将试样固定于试样容器。然后，将固定了试样的状态的试样容器设置于扫描型探针显微镜的载物台，进行试样的观察。

由此，能够在固定了试样的状态下进行观察。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第5510400号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

但是，在上述固定方法中，在观察浸泡在溶液中的试样时，存在难以固定试样的不良状况。具体而言，由于试样浸渍在溶液中，所以粘接剂有时会溶解。而且，在这种情况下，无法用粘接剂将试样固定在试样容器上，在观察中试样会移动。其结果，对试样的观察产生不良影响。

本发明是鉴于上述情况而提出的，其目的在于，提供一种即使在试样浸渍在溶液中的状态下、也能以稳定的状态保持试样的试样保持件。

用于解决上述技术问题的方案

(1)本发明的试样保持件使用于通过使探针沿着试样的表面相对移动来进行测量的扫描型探针显微镜。所述试样保持件具备：试样容器与固定部件。所述试样容器具有插入口，能够将试样从所述插入口插入至所述试样容器的内部。所述固定部件，从所述插入口插入至所述试样容器的内部，在与所述试样容器的内表面之间夹持并固定试样。所述固定部件通过插入至所述试样容器的内部而使周缘部弹性变形，以该弹力夹持试样，并且形成用于使被夹持的试样的表面露出的开口部。

根据这样的构成，则在试样被插入至试样容器的内部的状态下，若固定部件被插入至试样容器的内部，则固定部件的周缘部弹性变形，在与试样容器的内表面之间通过弹力夹持试样。

因此，即使在试样容器的内部以浸渍在液体中的状态设置试样的情况下，也能够以稳定的状态保持试样。

此外，在固定部件形成用于使试样的表面露出的开口部。

因此，在保持固定了试样的状态的同时，能够经由开口部观察试样。

(2)此外，也可以是，所述固定部件通过折弯其周缘部而形成弹簧板部，所述弹簧板部弹性变形，由此以该弹力夹持试样。

根据这样的构成，能够在固定部件中更简单地构成弹簧板部。