[发明专利]一种太阳能硅片制绒溶液的循环利用方法在审
申请号: | 201810205570.2 | 申请日: | 2018-03-13 |
公开(公告)号: | CN108493295A | 公开(公告)日: | 2018-09-04 |
发明(设计)人: | 金柄生 | 申请(专利权)人: | 苏州晶瑞化学股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;C30B33/10 |
代理公司: | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人: | 李凤娇 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蚀刻 太阳能硅片 循环利用 制绒 混合溶液 自动测量 增减量 废酸 循环分离装置 电位滴定仪 混合溶液中 硝酸根离子 选择性电极 定量分析 反渗透膜 分离杂质 环境效益 浓度减少 蚀刻处理 蚀刻溶液 电位仪 氟硅酸 氢氟酸 蚀刻槽 硝酸 硅片 强酸 排放 | ||
1.一种太阳能硅片制绒溶液的循环利用方法,其特征在于包括以下步骤:
(1)用制绒溶液对太阳能硅片进行蚀刻处理,蚀刻后的混合溶液用反渗透膜循环分离装置在蚀刻槽中分离出氟硅酸杂质;
(2)对分离杂质后的混合溶液中的氢氟酸和硝酸分别通过自动测量电位滴定仪和硝酸根离子选择性电极自动测量电位仪进行定量分析,得到蚀刻后混合溶液的组成浓度增减量;
(3)根据组成浓度增减量,在蚀刻过程中或循环利用中添加浓度减少的酸,重新作为硅片的蚀刻溶液。
2.如权利要求1所述的一种太阳能硅片制绒溶液的循环利用方法,其特征在于:所述步骤(1)中的反渗透膜为选择性纳米过滤膜。
3.如权利要求1所述的一种太阳能硅片制绒溶液的循环利用方法,其特征在于:所述步骤(2)中所述自动测量电位滴定仪为在非水溶剂中中和测定电位变化值。
4.如权利要求3所述的一种太阳能硅片制绒溶液的循环利用方法,其特征在于:所述非水溶剂优选为乙醇或乙二醇。
5.如权利要求3所述的一种太阳能硅片制绒溶液的循环利用方法,其特征在于:所述步骤(2)中所述自动测量电位滴定仪采用的标准滴定溶液为0.1mol/L氢氧化钠的乙醇溶液。
6.如权利要求1所述的一种太阳能硅片制绒溶液的循环利用方法,其特征在于:所述步骤(1)中的太阳能硅片制绒溶液的组成为硝酸、氢氟酸,蚀刻处理前的混合溶液中含40wt%-45wt%的硝酸、8wt%-12wt%的氢氟酸,余量为水。
7.如权利要求1所述的一种太阳能硅片制绒溶液的循环利用方法,其特征在于:所述步骤(3)中酸的添加量用蚀刻处理前的标准值与蚀刻后的测量值间的差值和混合溶液的用量求得。
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