[发明专利]一种X光晶元检测设备

说明书

本发明公开了一种X光晶元检测设备，包括控制箱和检测箱，所述控制箱和检测箱下端均设置有多个滑轮，所述控制箱上端左侧设置有扫描仪，所述控制箱上端中部设置有键盘，所述控制箱上端右侧设置有鼠标，所述控制箱前侧面板右侧从上至下依次设置有应急按钮、控制开关和总开关，所述检测箱前侧中部设置有显示屏。本发明在结构上设计合理，使用起来操作方便，能自动识别产品，检测结果实时反馈，实用价值很高；滑轮可以方便设备的移动，省时省力，为设备的转移提供方便；在光线较暗时，灯管可以提供照明，使其不影响检测结果；X光检测装置可在X轴导轨和Y轴导轨做上下、左右移动，不存在检测盲区。

技术领域

本发明涉及一种检测设备，具体是一种X光晶元检测设备。

背景技术

晶元(Wafer)，是生产集成电路所用的载体,多指单晶硅圆片。单晶硅圆片由普通硅砂拉制提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后，就成为了晶元。晶元是最常用的半导体材料。晶元越大，同一圆片上可生产的IC就越多，可降低成本；但要求材料技术和生产技术更高。

由于晶元较小，生产后的产品是否合格就需要专门的检测设备，目前，X光检测是比较常用的方法，然而，现在的检测设备不能自动识别产品；有时光线较暗时对检测结果影响较大；检测装置存在盲区。因此，本领域技术人员提供了一种X光晶元检测设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种X光晶元检测设备，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种X光晶元检测设备，包括控制箱和检测箱，所述控制箱和检测箱下端均设置有多个滑轮，所述控制箱上端左侧设置有扫描仪，所述控制箱上端中部设置有键盘，所述控制箱上端右侧设置有鼠标，所述控制箱前侧面板右侧从上至下依次设置有应急按钮、控制开关和总开关，所述检测箱前侧中部设置有显示屏，所述检测箱右侧开设有横槽且滑动连接活动板，所述活动板右端设置有挡板，所述活动板上端设置有多个固定块，所述固定块共同固定连接有放料盘；

所述检测箱内部在活动板左右两侧均设置有X轴导轨，所述检测箱在X轴导轨的右侧设置有第二伺服电机，所述X轴导轨滑动连接有第一滑块，所述第一滑块上端固定连接有Y轴导轨，所述Y轴导轨右端设置有第一伺服电机，所述Y轴导轨上滑动连接有第二滑块，所述第二滑块下端设置有固定板，所述固定板下端设置有X光检测装置，所述检测箱后侧通过螺丝固定连接有检修板，所述检测箱内部顶端左侧设置有斜板，所述斜板的一侧设置有灯管，所述检测箱内侧顶端设置有定位器。

作为本发明进一步的方案：所述滑轮数量至少为4个。

作为本发明再进一步的方案：所述控制箱内部分别设置有电源、电路板和单片机；所述电源与电路板电性连接，电路板上安装有单片机，所述单片机与控制开关、显示屏、扫描仪、第一伺服电机、第二伺服电机和定位器均电性连接,所述单片机型号为AT89C51。

作为本发明再进一步的方案：所述固定块形状为L形。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

本发明在结构上设计合理，使用起来操作方便，能自动识别产品，检测结果实时反馈，实用价值很高；滑轮可以方便设备的移动，省时省力，为设备的转移提供方便；在光线较暗时，灯管可以提供照明，使其不影响检测结果；X光检测装置可在X轴导轨和Y轴导轨做上下、左右移动，不存在检测盲区。

附图说明

图1为一种X光晶元检测设备的主视图。

图2为一种X光晶元检测设备的俯视图。

图3为一种X光晶元检测设备中检测箱的结构示意图。