[发明专利]磁传感器电路、磁传感器电路的检查方法和具有磁传感器电路的半导体装置的制造方法

权利要求书

1.一种磁传感器电路，其中，具备：

输出与垂直磁场对应的电压的第一磁传感器元件或输出与水平磁场对应的电压的第二磁传感器元件；

磁场信号处理电路，根据所述电压来输出信号；

第一端子、第二端子和第三端子这至少3个端子，能够与外部的元件连接；

第一布线，将所述第一端子与所述第二端子之间连接；以及

第二布线，将所述第一端子与所述第三端子之间连接，

所述第一磁传感器元件或所述第二磁传感器元件的任一个被配置在能够检测从所述第一布线或所述第二布线产生的磁场的位置。

2.根据权利要求1所述的磁传感器电路，其中，

所述第一布线为生成所述第二磁传感器元件的检测对象的电流进行流动的布线，

所述第二布线为生成所述第一磁传感器元件的检测对象的电流进行流动的布线，

所述第一磁传感器元件被配置在能够检测从所述第二布线产生的磁场的位置，

所述第二磁传感器元件被配置在能够检测从所述第一布线产生的磁场的位置。

3.根据权利要求1所述的磁传感器电路，其中，

在所述第一布线中能够沿所述第一端子至所述第二端子的方向和所述第二端子至所述第一端子的方向双方向流动电流，

在所述第二布线中能够沿所述第一端子至所述第三端子的方向和所述第三端子至所述第一端子的方向双方向流动电流。

4.根据权利要求1所述的磁传感器电路，其中，

具备所述第一磁传感器元件和所述第二磁传感器元件之中的所述第二磁传感器元件，

所述第二磁传感器元件被配置在所述第一布线下或所述第二布线下。

5.根据权利要求2所述的磁传感器电路，其中，

在所述第一布线中能够沿所述第一端子至所述第二端子的方向和所述第二端子至所述第一端子的方向双方向流动电流，

在所述第二布线中能够沿所述第一端子至所述第三端子的方向和所述第三端子至所述第一端子的方向双方向流动电流。

6.根据权利要求2所述的磁传感器电路，其中，

具备所述第一磁传感器元件和所述第二磁传感器元件之中的所述第二磁传感器元件，

所述第二磁传感器元件被配置在所述第一布线下或所述第二布线下。

7.根据权利要求3所述的磁传感器电路，其中，

具备所述第一磁传感器元件和所述第二磁传感器元件之中的所述第二磁传感器元件，

所述第二磁传感器元件被配置在所述第一布线下或所述第二布线下。

8.根据权利要求5所述的磁传感器电路，其中，

具备所述第一磁传感器元件和所述第二磁传感器元件之中的所述第二磁传感器元件，

所述第二磁传感器元件被配置在所述第一布线下或所述第二布线下。

9.一种检查方法，所述方法是根据权利要求1至权利要求8的任一项所述的磁传感器电路的检查方法，其中，

通过在所述第一布线或所述第二布线中流动比在所述磁传感器电路进行通常工作时在该磁传感器电路内流动的电流大的电流，从而进行所述第一磁传感器元件或所述第二磁传感器元件的磁场施加检查。

10.一种半导体装置的制造方法，其中，包含根据权利要求9所述的所述检查方法。

11.一种磁传感器电路，其中，具备：

磁传感器元件，输出与磁场对应的电压；

磁场信号处理电路，根据所述电压来输出信号；

第一端子和第二端子这至少2个端子，能够与外部的元件连接；以及

布线，将所述第一端子与所述第二端子之间连接，能够流动比在通常工作时流动的电流大的电流，

在能够检测从所述布线产生的磁场的位置配置所述磁传感器元件。