[发明专利]一种工件温度检测装置及纳米材料制作设备在审
| 申请号： | 201810209477.9 | 申请日： | 2018-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN108225593A | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 刘忠林;毕凯 | 申请（专利权）人： | 嘉兴岱源真空科技有限公司 |
| 主分类号： | G01K7/02 | 分类号： | G01K7/02;C23C14/35;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 11489 | 代理人： | 姚海波 |
| 地址： | 314100 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 温度测量仪表 温度检测装置 环形端子 活动端子 纳米材料 真空腔室 制作设备 电偶 镀膜 转轴 热电偶连接 镀膜效果 活动接触 温度传导 准确测量 测量 试验 | ||
1.一种工件温度检测装置，用于检测一真空腔室中的工件的实际温度，其特征在于：所述工件温度检测装置包括工件转盘、工件夹具、热电偶、电偶端子、转轴、若干活动端子、环形端子盘及温度测量仪表，所述工件转盘置于真空腔室中，所述工件夹具设置于工件转盘上并夹持工件，所述转轴至少部分地位于真空腔室中，所述工件转盘与转轴位于真空腔室中一端固定连接，所述电偶端子设置于转轴位于真空腔室内的一端，所述活动端子设置于转轴的另一端，所述热电偶的一端与工件连接，另一端与电偶端子连接；电偶端子与活动端子连接，活动端子与环形端子盘活动接触，环形端子盘与温度测量仪表连接。
2.如权利要求1所述的工件温度检测装置，其特征在于：所述转轴包括可拆卸连接的主轴体及次轴体，主轴体的一端位于真空腔室内，另一端位于真空腔室外，次轴体位于真空腔室内且与主轴体位于真空腔室内的一端可拆卸地连接。
3.如权利要求2所述的工件温度检测装置，其特征在于：所述主轴体位于真空腔室内的端面及次轴体朝向主轴体的端面上分别设有凹槽及凸块。
4.如权利要求2所述的工件温度检测装置，其特征在于：所述次轴体朝向主轴体的端面上设有母端子，主轴体朝向次轴体的端面上设有子端子及固定端子，子端子与固定端子滑动连接，子端子与固定端子之间设有弹簧。
5.如权利要求1所述的工件温度检测装置，其特征在于：所述环形端子盘的形状为圆形，其圆心处设有第一端子，环形端子盘绕其圆心设有若干环形的环形端子。
6.一种纳米材料制作设备，其特征在于：具有如上述权利要求1-5任一项所述的工件温度检测装置、真空腔室及位于真空腔室内的工件。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于嘉兴岱源真空科技有限公司，未经嘉兴岱源真空科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201810209477.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
