[发明专利]一种动态运转设备放气量测试装置及测试方法

权利要求书

1.一种动态运转设备放气量测试装置，其特征在于：包括标定容器、测试分子泵、可冷凝气体收集器、收集容器、液氮冷阱和总分子泵机组，动态运转设备通过密闭的气体管路依次连通测试分子泵、可冷凝气体收集器、收集容器、液氮冷阱和总分子泵机组，标定容器通过密闭的气体管路连接于分子泵与动态运转设备之间的气体管路上，在标定容器与可冷凝气体收集器之间连接有将测试分子泵与整体管路相隔离的气体管路支路；所述可冷凝气体收集器的筒体上安装有用以实现便捷拆卸的快速连接法兰结构。

2.根据权利要求1所述的一种动态运转设备放气量测试装置，其特征在于：所述收集容器连接用于测试收集气体的总压力且可测量不可冷凝气体的分压力的第一真空计；所述标定容器连接用于测试标定容器内部压力的第二真空计。

3.根据权利要求1所述的一种动态运转设备放气量测试装置，其特征在于：所述可冷凝气体收集器配备有液氮罐，该液氮罐用于对可冷凝气体收集器内的气体进行冷凝。

4.根据权利要求1所述的一种动态运转设备放气量测试装置，其特征在于：在所述动态运转设备的出口处设置第一阀门。

5.根据权利要求1所述的一种动态运转设备放气量测试装置，其特征在于：在所述标定容器的出口处设置有第二阀门。

6.根据权利要求1所述的一种动态运转设备放气量测试装置，其特征在于：在所述测试分子泵与动态运转设备相连接一侧设置第八阀门，在测试分子泵与可冷凝气体收集器相连接一侧设置第三阀门。

7.根据权利要求1所述的一种动态运转设备放气量测试装置，其特征在于：在所述气体管路支路与动态运转设备相连接一侧设置第九阀门，在气体管路支路与可冷凝气体收集器相连接一侧设置第七阀门。

8.根据权利要求1所述的一种动态运转设备放气量测试装置，其特征在于：在所述可冷凝气体收集器与收集容器之间设置有第六阀门。

9.根据权利要求1所述的一种动态运转设备放气量测试装置，其特征在于：在所述收集容器与液氮冷阱之间设置有第四阀门。

10.根据权利要求1所述的一种动态运转设备放气量测试装置，其特征在于：在所述液氮冷阱与总分子泵机组之间设置有第五阀门。

11.根据权利要求1所述的一种动态运转设备放气量测试装置，其特征在于：所述可冷凝气体收集器包括上盖、密封垫、容器、第一法兰、第二法兰和提手，在上盖与容器之间设置有通过紧固螺栓安装的密封垫以形成压垫密封结构，在第一法兰、第二法兰设置于容器的两侧结为快速法兰结构快拆接口，用于实现快速对接与拆卸，提手设置于上盖上端面用于上盖的开启。

12.一种动态运转设备放气量测试方法，其特征在于，按照下列步骤进行：

步骤一、保持第一阀门封闭，启动总分子泵机组对整个放气量测试装置进行抽真空；

步骤二、封闭第三阀门、第四阀门、第七阀门，测量指定时间t内测试容积V的压力上涨量P，计算出本底Q0；测量完成后再次抽真空；

步骤三、开启第一阀门，对动态运转设备进行抽真空；

步骤四、关闭第一阀门、第七阀门、第九阀门，启动测试分子泵，待测试分子泵达到额定转速后，向液氮罐内灌满液氮，开启第一阀门，关闭第四阀门，开始计时，此时时间记为tc，第一真空计读数记为Pc；当收集至指定时间tZ后，封闭第一阀门、第三阀门、第七阀门。

步骤五、取下液氮罐，对可冷凝气体收集器解冻，将温度恢复至室温，此时第一真空计读数记为Ps，时间记为ts，根据公式Q1＝[Ps-PcV-Q0ts-tc]/tc-tZ计算动态运转设备的放气量。