[发明专利]一种动态运转设备放气量测试装置及测试方法

说明书

本发明公开了一种动态运转设备放气量测试装置及测试方法，包括标定容器、测试分子泵、可冷凝气体收集器、收集容器、液氮冷阱和总分子泵机组，动态运转设备通过密闭的气体管路依次连通测试分子泵、可冷凝气体收集器、收集容器、液氮冷阱和总分子泵机组，本发明使用分子泵及液氮冷阱，防止了装置自身产生油蒸汽等污染物，从而能够有效降低装置的放气本底；能够将动态运转设备中释放的气体全部收集至测试装置，并将可冷凝气体与非可冷凝气体分开进行收集，降低了收集装置内的升压速率，缩小测试装置的体积。

技术领域

本发明涉及测量放气量的装置，具体涉及一种动态运转设备放气量测试装置及测试方法。

背景技术

放气量即放出的气体流量，可表征为放出的气体量G与放气时间t的比值。放气量通常采用的测量方法有定容法、定压法、固定流导法、收集法和称重法等。其主要针对的测试对象为样片、放气元件。采用以上方法进行放气量测量时，通常需要将放气元件等放入真空室，再进行测试。测试时，要求被测物处于静止状态，所使用方法及装置通常无法有效进行动态运转设备的放气量测试。且由于动态运转设备放出的气体在设备内部分布不均匀，因而无法直接在设备上通过测量压力以及计算升压速率或称重获得。

经过分析以上方法，采用收集气体方法可实现动态放气测试，可以对普通的收集法进行改进实现对动态运转设备放气量的测试。通常收集法采用扩散泵将所有释放出的气体收集至一容积固定的容器，再进行总气体量的测试，对于动态运转设备采用该方法存在需要解决的问题。

首先扩散泵反油，引起较大本底并对动态运转设备产生污染。且泵一旦停电，会向设备释放油蒸汽造成压升，破坏真空度，造成设备异常的运转。

其次，该方法采用固定容器，通常难以拆卸清洗，多次测试后由于收集容器对真空设备释放气体的吸附无法彻底清洗造成装置放气本底提升。

最后，针对不同放气量的动态运转设备，无法适时按收集的气体量多少选用更换合适容积的收集容器，造成收集时间过短或过长。目前通过查阅文献，对于如何在设备动态运转时进行放气量测试的方法及装置，未见相关描述。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术的不足，提供一种动态运转设备放气量测试装置及测试方法。

为解决以上动态运转设备放气量测试遇到的问题，实现动态运转设备的放气量测试，并保证动态运转设备运行的安全，本发明提供一种适用于动态运转设备放气量测试的装置。该装置采用分子泵收集，消除返油问题，且分子泵在停电时保持一定抽速，此时截断装置与设备，保证设备真空度。该装置可根据动态运转设备的放气量适时更换收集容器，实时对测试用的容积V进行准确标定。能够将动态运转设备中释放的气体全部收集至测试装置，并将可冷凝气体与非可冷凝气体分开进行收集，以达到降低收集装置内的升压速率，减小了测试装置的体积效果。可进行装置内可冷凝气体收集部件的清洗，从而降低装置的放气本底。可以通过测试收集装置的总压力P、收集时间t计算得到收集的总气体量G以及放气量Q。解决了以上动态运转设备放气量测试的技术问题。

本发明是通过以下技术方案实现的：

一种动态运转设备放气量测试装置，包括标定容器、测试分子泵、可冷凝气体收集器、收集容器、液氮冷阱和总分子泵机组，动态运转设备通过密闭的气体管路依次连通测试分子泵、可冷凝气体收集器、收集容器、液氮冷阱和总分子泵机组，标定容器通过密闭的气体管路连接于分子泵与动态运转设备之间的气体管路上，在标定容器与可冷凝气体收集器之间连接有将测试分子泵与整体管路相隔离的气体管路支路；所述可冷凝气体收集器的筒体上安装有用以实现便捷拆卸的KF法兰(快速连接法兰)结构。

在上述技术方案中，所述收集容器连接用于测试收集气体的总压力且可测量不可冷凝气体的分压力的第一真空计。

在上述技术方案中，所述标定容器连接用于测试标定容器内部压力的第二真空计。