[发明专利]气体传感器在审

专利信息
申请号: 201810216002.2 申请日: 2018-03-16
公开(公告)号: CN109839411A 公开(公告)日: 2019-06-04
发明(设计)人: 林裕美 申请(专利权)人: 株式会社东芝
主分类号: G01N27/22 分类号: G01N27/22;G01N27/12
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 代理人: 杜丽利
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 气体传感器 感应层 固定电极 膜结构 无定形材料 金属元素 覆盖层 空腔 变形 覆盖 吸收
【权利要求书】:

1.气体传感器,其具有:

固定电极;和

膜结构,其为覆盖上述固定电极、在其内侧形成空腔的膜结构,包含用含有金属元素的无定形材料形成的感应层和在上述感应层上设置的覆盖层,并能通过上述感应层吸收规定的气体而变形。

2.根据权利要求1所述的气体传感器,其中,上述膜结构还包含基层和在上述感应层与上述基层之间设置的中间层。

3.根据权利要求1所述的气体传感器,其还具有设置于上述膜结构、与上述固定电极相对、能根据上述膜结构的变形而变形或位移的可动电极。

4.根据权利要求1所述的气体传感器,其中,上述感应层作为与上述固定电极相对的可动电极发挥功能。

5.根据权利要求1所述的气体传感器,其中,上述覆盖层含有具有使氢分子解离为氢原子的催化作用的元素。

6.根据权利要求1所述的气体传感器,其中,上述覆盖层含有上述感应层中所含有的元素。

7.气体传感器,其具有膜结构,该膜结构包含:用含有金属元素的无定形材料形成的感应层;和在上述感应层上设置、含有选自硅(Si)、磷(P)和硼(B)中的至少1种元素的覆盖层。

8.气体传感器,其具有膜结构,该膜结构包含:基层;在上述基层上设置、含有选自钛(Ti)和钽(Ta)中的至少一者的中间层;和在上述中间层上设置、用含有金属元素的无定形材料形成的感应层。

9.根据权利要求1、7或8中任一项所述的气体传感器,其中,上述无定形材料为金属玻璃材料。

10.根据权利要求1、7或8中任一项所述的气体传感器,其中,上述无定形材料含有具有用于使氢分子解离为氢原子的催化作用的元素。

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