[发明专利]气体传感器

说明书

本发明提供具有充分的性能的气体传感器。实施方式涉及的气体传感器具有：固定电极32；和膜结构，其为覆盖固定电极、在其内侧形成空腔40的膜结构20，包含用含有金属元素的无定形材料形成的感应层23和在感应层上设置的覆盖层24，可通过感应层吸收规定的气体而变形。

相关申请的交叉引用

本申请基于并且要求于2017年11月28日提交的在先日本专利申请No.2017-227935的优先权；通过引用将其全部内容并入本文。

技术领域

本发明的实施方式涉及气体传感器。

背景技术

有人提出了使用了MEMS(微机电系统，micro electro-mechanical systems)技术的气体传感器(氢气传感器等)。

但是，目前为止未必能说已提出了具有充分的性能的气体传感器。

发明内容

发明要解决的课题

提供具有充分的性能的气体传感器。

用于解决课题的手段

实施方式涉及的气体传感器具有：固定电极；和膜结构，其为覆盖上述固定电极、在其内侧形成空腔的膜结构，该膜结构包含用含有金属元素的无定形材料形成的感应层和在上述感应层上设置的覆盖层，并可通过上述感应层吸收规定的气体而变形。

附图说明

图1为示意地表示实施方式涉及的气体传感器的构成的截面图。

图2为示意地表示实施方式涉及的气体传感器的构成的平面图。

图3为表示使用了实施方式涉及的气体传感器的气体检测系统的基本的构成的方块图。

图4为表示没有设置覆盖层时的、膜结构中含有的元素的浓度分布的分析结果的图。

图5为表示没有设置覆盖层时的、膜结构的内部和表面的分析结果的图。

图6为表示实施方式涉及的、在感应层上设置了覆盖层时的效果的图。

图7为表示实施方式涉及的、在感应层上设置了覆盖层时的效果的图。

图8为示意地表示实施方式涉及的气体传感器的第1变形例的构成的截面图。

图9为示意地表示实施方式涉及的气体传感器的第2变形例的构成的截面图。

图10为示意地表示实施方式涉及的气体传感器的第3变形例的构成的截面图。

图11为示意地表示实施方式涉及的气体传感器的第4变形例的构成的截面图。

附图标记的说明

10…下部结构 20…膜结构

21…基层 22…中间层 23…感应层 24…覆盖层

31…可动电极 32…固定电极 40…空腔

100…可变电容器 200…检测部

210…电容检测部 220…气体浓度算出部

具体实施方式

以下参照附图对实施方式进行说明。

本实施方式涉及的气体传感器使用MEMS(micro electro-mechanical systems)技术制造。另外，本实施方式涉及的气体传感器主要用作氢气传感器。

图1为示意地表示本实施方式涉及的气体传感器的构成的截面图。图2为示意地表示本实施方式涉及的气体传感器的构成的平面图。沿着图2的A－A线的截面大致与图1对应。