[发明专利]管芯上电源网格迹线凸点形成在审
申请号: | 201810217116.9 | 申请日: | 2018-03-16 |
公开(公告)号: | CN108695287A | 公开(公告)日: | 2018-10-23 |
发明(设计)人: | B·魏达斯;S·科勒;G·塞德曼 | 申请(专利权)人: | 英特尔IP公司 |
主分类号: | H01L23/49 | 分类号: | H01L23/49;H01L21/60 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 林金朝;王英 |
地址: | 美国加*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 迹线 凸点 焊料 电源网格 漏极 电源 电源迹线 相邻电源 管芯 涂覆 种管 | ||
1.一种管芯上电源网格设备,包括:
包括上表面的基板;
电压源极源极(VSS)迹线,其设置在所述上表面上并且在两个VSS接合焊盘之间;以及
VSS焊料迹线,其设置在所述两个VSS接合焊盘之间并且线性叠覆在所述VSS迹线上。
2.根据权利要求1所述的管芯上电源网格设备,还包括:
设置在所述基板上表面上的图案化掩模,其中,所述VSS焊料迹线被设置在所述图案化掩模中的通道中。
3.根据权利要求2所述的管芯上电源网格设备,其中,所述两个VSS接合焊盘中的每者支撑VSS焊料凸点,并且其中,所述VSS焊料迹线和所述两个VSS焊料凸点是一体化的焊料结构。
4.根据权利要求2所述的管芯上电源网格设备,还包括所述VSS迹线中的梗塞部。
5.根据权利要求1所述的管芯上电源网格设备,其中,所述VSS迹线是第一VSS迹线,所述焊料迹线是第一VSS焊料迹线,所述设备还包括:
后续VSS迹线,其设置在所述上表面上并且在两个VSS接合焊盘之间;
后续VSS焊料迹线,其设置在所述后续VSS迹线上并且线性叠覆在所述第一VSS迹线上。
6.根据权利要求5所述的管芯上电源网格设备,还包括:
设置在所述基板上表面上的图案化掩模,其中,所述VSS焊料迹线是设置在所述图案化掩模中的通道中的第一VSS焊料迹线;并且
其中,所述后续VSS焊料迹线被设置在所述图案化掩模中的后续通道中。
7.根据权利要求1所述的管芯上电源网格设备,其中,所述VSS迹线是第一VSS迹线,所述焊料迹线是第一VSS焊料迹线,所述设备还包括:
电压漏极漏极(VDD)迹线,其设置在两个VDD接合焊盘之间;
VDD焊料迹线,其设置在所述VDD迹线上并且线性叠覆在所述VDD迹线上;
后续VSS迹线,其设置在所述上表面上并且在两个VSS接合焊盘之间,其中,所述第一VSS迹线和所述后续VSS迹线被所述VDD迹线隔开;以及
后续VSS焊料迹线,其设置在所述后续VSS迹线上并且线性叠覆在所述后续VSS迹线上。
8.根据权利要求7所述的管芯上电源网格设备,还包括:
设置在所述基板上表面上的图案化掩模,其中,所述VSS焊料迹线是设置在所述图案化掩模中的第一通道中的第一VSS焊料迹线;
其中,所述后续VSS焊料迹线被设置在所述图案化掩模中的后续通道中;并且
其中,所述VDD焊料迹线设置在所述图案化掩模中的通道中。
9.根据权利要求1所述的管芯上电源网格设备,其中,所述VSS迹线是第一VSS迹线,所述焊料迹线是第一VSS焊料迹线,所述设备还包括:
电压漏极漏极(VDD)迹线,其设置在两个VDD接合焊盘之间;
VDD焊料迹线,其设置在所述VDD迹线上并且线性叠覆在所述VDD迹线上;
后续VSS迹线,其设置在所述上表面上并且在两个VSS接合焊盘之间,其中,所述第一VSS迹线和所述后续VSS迹线被所述VDD迹线隔开;
后续VSS焊料迹线,其设置在所述后续VSS迹线上并且线性叠覆在所述后续VSS迹线上;
第一信号(信号1)迹线,其设置在所述第一VSS迹线和所述VDD迹线之间;以及
第二信号(信号2)迹线,其设置在所述VDD迹线和所述后续VSS迹线之间。
10.根据权利要求9所述的管芯上电源网格设备,还包括:
设置在所述基板上表面上的图案化掩模,其中,所述图案化掩模与所述信号1迹线和所述信号2迹线中的每者线性接触。
11.根据权利要求1所述的管芯上电源网格设备,其中,所述基板为半导体管芯。
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