[发明专利]一种离子刻蚀微调机用挡板快速切换机构在审
| 申请号： | 201810218177.7 | 申请日： | 2018-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN108565199A | 公开（公告）日： | 2018-09-21 |
| 发明（设计）人： | 张岩;杨周林;宿华伟;黄国瑞 | 申请（专利权）人： | 台晶(重庆)电子有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 胡柯 |
| 地址： | 401329 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 挡板 马达 马达驱动 安装孔 连接轴 转动轴 离子刻蚀微调机 快速切换机构 挡板组件 中心轴线 容纳腔 挡板移动 工作效率 开合动作 凸轮带动 凸轮转动 线圈控制 线圈驱动 故障率 底端 固接 平行 | ||
1.一种离子刻蚀微调机用挡板快速切换机构，包括安装在离子刻蚀微调机上的本体，其特征在于：还包括有挡板组件，所述挡板组件包括有马达、凸轮、挡板；
所述本体上开设有容纳腔，所述马达固定安装在所述本体上，所述凸轮的底端固定安装在所述马达的转动轴的顶端上，所述凸轮的顶端固接一连接轴，所述连接轴的中心轴线与马达的转动轴的中心轴线平行，所述凸轮位于所述容纳腔内，所述挡板上开设有安装孔，所述挡板通过安装孔套设在连接轴上，所述安装孔的尺寸大于马达的转动轴的直径。
2.根据权利要求1所述的离子刻蚀微调机用挡板快速切换机构，其特征在于：所述挡板包括有挡板本体和连杆，所述安装孔开设在所述连杆上，所述连杆通过安装孔套设在连接轴上，所述挡板本体固定安装在所述连杆上。
3.根据权利要求1所述的离子刻蚀微调机用挡板快速切换机构，其特征在于：所述挡板组件的数量为两组，两组挡板组件并列设置。
4.根据权利要求1所述的离子刻蚀微调机用挡板快速切换机构，其特征在于：所述本体的容纳腔四周的侧壁中的两个相对的侧壁上开设有相对的卡槽，所述挡板的底端面与卡槽的槽底面贴合。
5.根据权利要求4所述的离子刻蚀微调机用挡板快速切换机构，其特征在于：所述卡槽的宽度值比挡板的宽度值大0.1-0.4mm。
6.根据权利要求4所述的离子刻蚀微调机用挡板快速切换机构，其特征在于：所述卡槽内开设有从卡槽的槽底面起并沿容纳腔深度方向的填充孔，所述填充孔内填充有耐磨块，所述耐磨块的上端面与卡槽的槽底面保持平齐。
7.根据权利要求6所述的离子刻蚀微调机用挡板快速切换机构，其特征在于：所述耐磨块的材质为铁氟龙或者聚氨酯。
8.根据权利要求1所述的离子刻蚀微调机用挡板快速切换机构，其特征在于：所述离子刻蚀微调机用挡板快速切换机构还包括马达固定板，所述马达固定板通过螺丝固定安装在所述本体上，所述马达固定板位于所述容纳腔的正下方，所述马达通过螺丝固定安装在所述马达固定板上，所述马达的转动轴穿过所述马达固定板伸入至容纳腔内。
9.根据权利要求1所述的离子刻蚀微调机用挡板快速切换机构，其特征在于：所述离子刻蚀微调机用挡板快速切换机构还包括上盖板，所述上盖板通过螺丝固定安装在所述本体上，所述上盖板位于所述容纳腔的正上方，所述上盖板的下端面与所述挡板的上端面之间留有缝隙。
10.根据权利要求1所述的离子刻蚀微调机用挡板快速切换机构，其特征在于：所述马达的驱动电压为10-15V。
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