[发明专利]一种离子刻蚀微调机用挡板快速切换机构

说明书

本发明公开了一种离子刻蚀微调机用挡板快速切换机构，包括本体和挡板组件，挡板组件包括马达、凸轮、挡板；本体上开设有容纳腔，马达固定安装在本体上，凸轮的底端固定安装在马达的转动轴的顶端上，凸轮的顶端固接一连接轴，连接轴的中心轴线与马达的转动轴的中心轴线平行，凸轮位于容纳腔内，挡板上开设有安装孔，挡板通过安装孔套设在连接轴上，安装孔的尺寸大于马达的转动轴的直径。本发明使用马达驱动凸轮转动，凸轮带动挡板移动，实现挡板的开合动作，将故障率从使用线圈控制挡板时的78％降至使用马达驱动挡板时的10％，提升了工作效率；通过马达驱动带动线圈驱动，降低了贵重线圈的使用成本。

技术领域

本发明涉及石英晶体谐振器制造技术领域，特别是一种离子刻蚀微调机用挡板快速切换机构。

背景技术

石英晶体谐振器在制造过程中，需要通过离子刻蚀对其进行频率调试。调试过程中通过挡板的打开和闭合动作对离子束进行控制。然而传统的挡板微调装置使用两组电磁线圈来控制挡板的打开和闭合，线圈内铁芯与线圈间有一定间隙，当电流通过其中一个线圈时使铁芯做直线动作，此时另一个线圈处于失电状态，从而实现挡板的张开/闭合动作。因挡板张开/闭合动作频率高，磨损严重，导致两个线圈铁芯不同心，在工作一段时间后会出现张开/闭合不畅的状况，在此状况下需更换线圈。这就使得机器因故障而停机的频率增大，大大降低了生产效率。

发明内容

针对以上技术的不足，本发明的目的就是提供一种离子刻蚀微调机用挡板快速切换机构，使用马达驱动凸轮转动，凸轮带动挡板移动，从而实现挡板的张开和闭合动作，大大降低了机器的故障率，提升了工作效率。

本发明的目的是通过这样的技术方案实现的，一种离子刻蚀微调机用挡板快速切换机构，包括安装在离子刻蚀微调机上的本体，其特征在于：还包括有挡板组件，所述挡板组件包括有马达、凸轮、挡板；

所述本体上开设有容纳腔，所述马达固定安装在所述本体上，所述凸轮的底端固定安装在所述马达的转动轴的顶端上，所述凸轮的顶端固接一连接轴，所述连接轴的中心轴线与马达的转动轴的中心轴线平行，所述凸轮位于所述容纳腔内，所述挡板上开设有安装孔，所述挡板通过安装孔套设在连接轴上，所述安装孔的尺寸大于马达的转动轴的直径。

进一步地，所述挡板包括有挡板本体和连杆，所述安装孔开设在所述连杆上，所述连杆通过安装孔套设在连接轴上，所述挡板本体固定安装在所述连杆上。

进一步地，所述挡板组件的数量为两组，两组挡板组件并列设置。

进一步地，所述本体的容纳腔四周的侧壁中的两个相对的侧壁上开设有相对的卡槽，所述挡板的底端面与卡槽的槽底面贴合。

进一步地，所述卡槽的宽度值比挡板的宽度值大0.1-0.4mm。

进一步地，所述卡槽内开设有从卡槽的槽底面起并沿容纳腔深度方向的填充孔，所述填充孔内填充有耐磨块，所述耐磨块的上端面与卡槽的槽底面保持平齐。

进一步地，所述耐磨块的材质为铁氟龙或者聚氨酯。

进一步地，所述离子刻蚀微调机用挡板快速切换机构还包括马达固定板，所述马达固定板通过螺丝固定安装在所述本体上，所述马达固定板位于所述容纳腔的正下方，所述马达通过螺丝固定安装在所述马达固定板上，所述马达的转动轴穿过所述马达固定板伸入至容纳腔内。

进一步地，所述离子刻蚀微调机用挡板快速切换机构还包括上盖板，所述上盖板通过螺丝固定安装在所述本体上，所述上盖板位于所述容纳腔的正上方，所述上盖板的下端面与所述挡板的上端面之间留有缝隙。

进一步地，所述马达的驱动电压为10-15V。