[发明专利]一种具有瓶盖锁的设备端光阻瓶在审

专利信息
申请号: 201810223781.9 申请日: 2018-03-19
公开(公告)号: CN110282249A 公开(公告)日: 2019-09-27
发明(设计)人: 赵德闻 申请(专利权)人: 玄创半导体设备(上海)有限公司
主分类号: B65D55/14 分类号: B65D55/14;B65D47/06
代理公司: 上海宏京知识产权代理事务所(普通合伙) 31297 代理人: 邓文武
地址: 200942 上海市宝山*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 瓶盖 瓶盖锁 气缸销 瓶把手 锁销 气缸推动 周向旋转 光阻瓶 设备端 瓶颈 瓶体 锁定 操作失误 螺纹连接 缩回 非接触 光阻剂 解锁 瓶口 瓶身 气缸 上盖 伸出
【权利要求书】:

1.一种具有瓶盖锁的设备端光阻瓶,其特征是包括瓶体,所述瓶体包括瓶颈、瓶身,所述瓶颈的外侧上设有瓶把手,所述瓶颈的瓶口上盖设有螺纹连接的瓶盖,所述瓶盖上设有瓶盖锁装置,所述瓶盖锁装置包括气缸销,所述气缸销通过气缸销座固定在所述瓶盖的边沿上,所述气缸销包括气缸、锁销,所述气缸推动所述锁销向下伸出与所述瓶盖周向旋转路线上的所述瓶把手形成预见的接触锁定瓶盖状态,所述气缸推动所述锁销向上缩回与所述瓶盖周向旋转路线上的所述瓶把手形成预见的非接触解锁瓶盖状态。

2.根据权利要求1所述的具有瓶盖锁的设备端光阻瓶,其特征在于,所述瓶盖的外侧是柱面,所述气缸销座包括平台板,所述平台板是扇形板结构,所述平台板的下面固定立设有定位侧板,所述定位侧板的定位侧面与所述瓶盖的外侧贴合定位,所述平台板的内弧端通过连接件固定在所述瓶盖的边沿上,所述平台板的外弧端上设有气缸销固定通孔,所述锁销穿过所述气缸销固定通孔做升降运动。

3.根据权利要求1所述的具有瓶盖锁的设备端光阻瓶,其特征在于,所述气缸内设有活塞,所述活塞的下面与所述锁销的连接端固定连接,所述活塞的上方设有气腔A,所述活塞的下方设有气腔B,所述气腔B与外部高压气源连通,开启所述外部高压气源,所述活塞在所述气腔B内高压的作用下带动所述锁销向上运动形成解锁状态,关闭所述外部高压气源,所述气腔B内的高压消失,所述活塞在所述气腔A内高压、活塞自身重力的作用下带动所述锁销向下运动形成锁定状态。

4.根据权利要求3所述的具有瓶盖锁的设备端光阻瓶,其特征在于,所述外部高压气源与所述气腔B连通的管道上设有电磁阀,设备端或网络光阻管理后台通过控制所述电磁阀的启闭状态控制所述瓶盖锁装置的工作状态。

5.根据权利要求1所述的具有瓶盖锁的设备端光阻瓶,其特征在于,所述气缸内设有活塞,所述活塞的下面与所述锁销的连接端固定连接,所述活塞的上方设有微型泵,所述活塞与所述微型泵间设有气腔A,所述活塞的下方设有气腔B,所述气腔B的下部的所述气缸内壁上设有活塞限位板,所述活塞限位板将所述气腔B分成所述活塞限位板上方的气腔C、所述活塞限位板下方的气腔D,所述微型泵的进气口与所述气腔A连通,所述微型泵的出气口与所述气腔D连通,启动所述微型泵,所述微型泵将所述气腔A内的气体泵入所述气腔B,所述活塞在所述气腔B内高压的作用下带动所述锁销向上运动形成解锁状态,关闭所述微型泵,所述气腔B内的高压消失,所述活塞在自身重力作用下带动所述锁销向下运动形成锁定状态。

6.根据权利要求5所述的具有瓶盖锁的设备端光阻瓶,其特征在于,所述微型泵包括微型泵无线控制模块,设备端或网络光阻管理后台通过所述微型泵无线控制模块控制所述微型泵的启闭状态来控制所述瓶盖锁装置的工作状态。

7.根据权利要求1所述的具有瓶盖锁的设备端光阻瓶,其特征在于,所述气缸内设有活塞,所述活塞的下面与所述锁销的连接端固定连接,所述活塞的上方设有气腔A,所述活塞的下方设有锁销驱动装置,所述活塞与所述锁销驱动装置间设有气腔B,所述锁销驱动装置与所述锁销形成螺纹传动连接,所述锁销驱动装置通过所述螺纹传动连接驱动所述锁销升降形成解锁或锁定状态。

8.根据权利要求7所述的具有瓶盖锁的设备端光阻瓶,其特征在于,所述锁销驱动装置包括驱动无线控制模块,设备端或网络光阻管理后台通过所述驱动无线控制模块控制所述锁销驱动装置的启闭状态来控制所述瓶盖锁装置的工作状态。

9.根据权利要求1所述的具有瓶盖锁的设备端光阻瓶,其特征在于,所述瓶盖上设有进气管、出液管,所述瓶身内的底面是漏斗锥面,所述底面的最低处向下开设有聚料孔,所述出液管的下端头向下延伸入所述聚料孔,进气管输入的正压将所述瓶身内的光阻液从所述出液管排出。

10.根据权利要求9所述的具有瓶盖锁的设备端光阻瓶,其特征在于,所述出液管的下端包括弹性扩容段、平头缺吸口,所述平头缺吸口包括吸口外沿,所述吸口外沿上开有平头缺口,扭紧所述瓶盖,所述平头缺吸口与所述聚料孔底部接触压缩所述弹性扩容段,扭开所述瓶盖,所述弹性扩容段在自身弹性应力的作用下扩展吸收所述平头缺吸口内的残留光阻液。

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